[发明专利]一种基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置与方法

权利要求书

1.一种基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置，其特征在于，包括依次同轴放置的激光器(1)、扩束器(2)、偏振片(3)、透明槽(6)、成像镜组(7)和波前传感器(8)，其中，所述透明槽(6)中装有与待测光学制件材料折射率相同的折射率匹配溶液(4)；

检测时，所述激光器(1)发出的激光经扩束器(2)扩束后，通过偏振片(3)成为偏振光，该偏振光通过装有折射率匹配溶液(4)的透明槽(6)后，由成像镜组(7)成像，所形成的图像由波前传感器(8)获取。

2.如权利要求1所述的基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置，其特征在于，所述折射率匹配溶液(4)由煤油、乙醇与溴代萘配置而成。

3.如权利要求1所述的基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置，其特征在于，所述激光器(1)为氦氖激光器。

4.如权利要求1所述的基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置，其特征在于，所述透明槽(6)为石英槽。

5.如权利要求1所述的基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置，其特征在于，所述透明槽(6)的壁面经过抛光处理。

6.如权利要求1-5任一项所述的基于波前传感器的光学制件均匀性检测装置，其特征在于，所述波前传感器(8)上还连接有数据采集处理单元。

7.一种基于波前传感器的光学制件均匀性检测方法，其特征在于，采用如权利要求1-6任一项所述的检测装置实现，包括如下步骤：

S1所述激光器(1)发出的激光经扩束器(2)扩束后，通过偏振片(3)成为偏振光，该偏振光通过装有折射率匹配溶液(4)的透明槽(6)后，由成像镜组(7)成像，所形成的图像由波前传感器(8)获取，进而由该图像得到此时光路的波前差L_O(x,y)；

S2将待测光学制件(5)浸入折射率匹配溶液(4)中，所述激光器(1)发出的激光经扩束器(2)扩束后，通过偏振片(3)成为偏振光，该偏振光通过装有折射率匹配溶液(4)和待测光学制件(5)的透明槽(6)后，由成像镜组(7)成像，所形成的图像由波前传感器(8)获取，进而由该图像得到此时光路的波前差L_t(x,y)；

S3由浸入待测光学制件(5)前后的波前差计算得到由待测光学制件(5)引起的波前差ΔL(x,y)＝L_t(x,y)-L_O(x,y)，进而由待测光学制件(5)引起的波前差ΔL(x,y)得到待测光学制件(5)厚度方向的折射率分布，根据该折射率分布即可得到待测光学制件(5)的均匀性情况。

8.如权利要求7所述的基于波前传感器的光学制件均匀性检测方法，其特征在于，检测温度优选为15℃～25℃，进一步优选为20℃。