[发明专利]用于检测诸如冲击、加速度、旋转力等平面内的力的集成压电传感器

权利要求书

1.一种制造压电传感器的方法，包括：

沿着衬底的纵向方向形成第一条带和第二条带，所述第二条带相对于所述第一条带被横向地定位，所述第一条带和所述第二条带中的每个条带具有位于相应的第一电极层和第二电极层之间的压电层；

将所述第一条带的所述第一电极层电耦合到所述第二条带的所述第二电极层；

将所述第一条带的所述第二电极层电耦合到所述第二条带的所述第一电极层；以及

通过蚀刻所述衬底来形成从所述衬底在所述纵向方向上延伸的悬臂，所述悬臂包括所述第一条带和所述第二条带。

2.根据权利要求1所述的制造压电传感器的方法，进一步包括：

将第一盖固定到所述衬底的第一表面；以及

将第二盖固定到所述衬底的第二表面。

3.根据权利要求1所述的制造压电传感器的方法，进一步包括：

在所述第一条带和所述第二条带以及所述衬底上形成钝化层；

通过选择性地去除所述钝化层的一部分来暴露所述第一条带和所述第二条带的所述第一电极层和所述第二电极层的至少一部分；

通过在所述第一条带和所述第二条带的所述第一电极层和所述第二电极层的所暴露的部分中沉积金属化层来形成电接触件。

4.一种传感器系统，包括：

压电传感器，所述压电传感器包括：

半导体衬底；

锚固部分；

形成在所述衬底中的悬臂，所述悬臂具有第一端和第二端，所述第一端被约束到所述锚固部分；

所述悬臂上的压电材料的第一条带，所述第一条带沿第一方向延伸，并且所述第一条带具有第一部分和第二部分，在所述第一端与所述第二端之间所述第二部分与所述第一部分对准并且间隔开；以及

所述悬臂上的压电材料的第二条带，所述第二条带沿所述第一方向延伸并且所述第二条带沿与所述第一方向垂直的第二方向与所述第一条带间隔开。

5.根据权利要求4所述的传感器系统，进一步包括：

测量电路，电耦合到所述压电传感器，并且被配置为确定作用在所述悬臂上的外力的值。