[发明专利]单侧上下料半导体设备及其物料传送装置

说明书

本申请实施例提供了一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。该物料传送装置，包括：移动底座用于承载物料；物料存放位组件设置在导轨组件的一侧，用于承载移动底座；物料移动机构，设置在导轨组件上，可沿导轨组件移动，第一牵引组件用于将移动底座从物料存放位组件移动到物料移动机构上，还用于将移动底座从物料移动机构移回物料存放位组件上；物料取放位组件设置在导轨组件的另一侧，用于承载移动底座，第二牵引组件用于将移动底座从物料移动机构移动到物料取放位组件上，还用于将移动底座从物料取放位组件移回物料移动机构上。本申请实施例实现了大幅降低了单侧上下料半导体设备的等待时间且提高了工作效率。

技术领域

本申请涉及半导体处理技术领域，具体而言，本申请涉及一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。

背景技术

目前，随着国内半导体市场的持续火热以及市场对于相关产品的巨大需求，客户对于半导体设备的产能需求越来越高，同时对于成本要求也越来越高。而伴随着国内老龄化趋势越来越明显，人工成本也逐渐水涨船高。如何解决上述难题便摆在每个半导体设备供应商的面前。

目前，国内槽式清洗设备还普遍使用人工上下料，即由人工将承载有待清洗晶圆的花篮放置到清洗设备的上料位，待清洗完毕后再由人工从下料位将花篮取走。现阶段采用单个花篮或两个花篮较为普遍，花篮的清洗工艺时间一定，当清洗设备数量较多时操作人员需要在不同设备间频繁的进行上下料操作，若操作人员操作不及时，清洗设备就处于等待状态，从而影响清洗设备的清洗效率，而为了减少清洗设备的等待时间，就需配备更多的操作人员，但是人工成本又会大幅上升，导致经济效益较低。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置，用以解决现有技术存效率较低、人工成本较高及经济效益较低的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种用于单侧上下料半导体设备的物料传送装置，包括：一个或多个物料存放位组件、一个或多个移动底座、物料移动机构、导轨组件、一个或多个物料取放位组件，其中，所述移动底座用于承载物料；所述物料存放位组件设置在所述导轨组件的一侧，用于承载所述移动底座；所述物料移动机构，设置在所述导轨组件上，可沿所述导轨组件移动，其包括一个或多个第一牵引组件，所述第一牵引组件用于将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述物料移动机构上，还用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动回所述物料存放位组件上；所述物料取放位组件设置在所述导轨组件的另一侧，用于承载所述移动底座，其包括一个或多个第二牵引组件，所述第二牵引组件用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动到所述物料取放位组件上，还用于将所述移动底座从物料取放位组件移动回所述物料移动机构上。

于本申请的一实施例中，所述移动底座包括：移动座、承载件，其中，所述移动座的底部设置有滑轮，所述移动底座通过所述滑轮移动；所述承载件设置于所述移动座的上部，与所述移动座固定连接，用于承载所述物料。

于本申请的一实施例中，所述物料移动机构还包括：底座、第一驱动部、一个或多个第一滑轨、一个或多个第一定位块，其中，所述第一牵引组件、所述第一驱动部、所述第一滑轨均设置在所述底座上，所述底座与所述导轨组件滑动配合；所述第一驱动部用于驱动所述底座在所述导轨组件上移动；所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向相交，所述第一定位块一一对应地设置于所述第一滑轨的侧壁上，所述移动底座上对应地设置有定位槽，所述第一牵引组件将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述第一滑轨上，所述第一定位块及定位槽配合以定位所述移动底座。

于本申请的一实施例中，所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向互相垂直。