[发明专利]一种晶体生长预测方法及装置有效
申请号: | 201911033270.1 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN111028893B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 舒天宇;王雅儒;赵爱梅;刘圆圆;潘亚妮 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
主分类号: | G16C20/10 | 分类号: | G16C20/10;G16C20/70;G06N3/0464;G06N3/0442;G06N3/045;G06N3/048;G06N3/084 |
代理公司: | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人: | 董延丽 |
地址: | 250118 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 预测 方法 装置 | ||
1.一种晶体生长预测方法,其特征在于,包括:
获取若干待预测的晶体生长的热场图;
根据预先训练好的卷积神经网络模型,提取待预测的热场图的图片特征;
根据提取出的图片特征以及预先训练好的长短期记忆网络模型,预测预设时间段后晶体生长的热场图的图片特征;
根据所述预设时间段后晶体生长的热场图的图片特征,得到以下一项或多项:晶体生长的热场分布数据、晶体形状变化数据、晶体的应力分布数据;
其中,根据预先训练好的卷积神经网络模型,提取待预测的热场图的图片特征之前,所述方法还包括:
获取若干晶体生长的热场图,作为训练集数据;
对所述训练集数据采用五折交叉验证方法,训练卷积神经网络模型,得到所述训练好的卷积神经网络模型;
其中,获取若干晶体生长的热场图,作为训练集数据,具体包括:
采用模拟软件,获得晶体生长过程的热场变化视频;
根据预设时间间隔,从所述视频中截取若干热场图,作为训练集数据;
其中,获取晶体生长的训练集数据,具体包括:
分别获取晶体生长的热场图与应力分布图;
将获得的相应时刻的热场图与应力分布图合并为热场应力分布图,作为训练集数据。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预先训练好的长短期记忆网络模型通过以下方式获得:
根据训练过程中卷积神经网络模型输出的图片特征,以及所述训练集数据,训练长短期记忆网络模型,得到所述训练好的长短期记忆网络模型。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,采用模拟软件,获得晶体生长过程的热场变化视频,具体包括:
以晶体所在的反应炉的轴心为中心线,确定穿过所述中心线的纵剖面;
采用模拟软件,获得晶体生长过程中在所述纵剖面的热场变化视频。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述卷积神经网络模型包括三个卷积层、三个池化层、两个全连接层,其中,卷积核设置为5×5,步长为1,采用的激活函数为LeakyReLU,采用的梯度下降的优化函数为Adam。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述长短期记忆网络模型的优化器为Adam,学习率为0.001。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设时间段为0.1小时;
获取若干待预测的晶体生长的热场图,具体包括:
根据晶体生长的时间顺序,获取连续10张晶体生长的热场图。
7.一种晶体生长预测装置,其特征在于,包括:
获取模块,用于获取若干待预测的晶体生长的热场图;
提取模块,用于根据预先训练好的卷积神经网络模型,提取待预测的热场图的图片特征;
预测模块,用于根据提取出的图片特征以及预先训练好的长短期记忆网络模型,预测预设时间段后晶体生长的热场图的图片特征;
确定模块,用于根据所述预设时间段后晶体生长的热场图的图片特征,得到以下一项或多项:晶体生长的热场分布数据、晶体形状变化数据、晶体的应力分布数据;
其中,所述装置还能够:
获取若干晶体生长的热场图,作为训练集数据;
对所述训练集数据采用五折交叉验证方法,训练卷积神经网络模型,得到所述训练好的卷积神经网络模型;
其中,所述装置具体还能够:
采用模拟软件,获得晶体生长过程的热场变化视频;
根据预设时间间隔,从所述视频中截取若干热场图,作为训练集数据;
其中,所述装置具体还能够:
分别获取晶体生长的热场图与应力分布图;
将获得的相应时刻的热场图与应力分布图合并为热场应力分布图,作为训练集数据。
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