[发明专利]一种减小高频高压发生器输出的直流高压误差的方法在审
申请号: | 201911034361.7 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN110831309A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 王中贇;谢森荣 | 申请(专利权)人: | 南宁市跃龙科技有限公司 |
主分类号: | H05G1/12 | 分类号: | H05G1/12;H05G1/32 |
代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 胡吉科 |
地址: | 530007 广西壮族自治区南*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 减小 高频 高压发生器 输出 直流 高压 误差 方法 | ||
1.一种减小高频高压发生器输出的直流高压误差的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、开始;
S2、高频高压发生器进行曝光操作;
S3、测量所述高频高压发生器的输出电压,并计算出所述高频高压发生器的输出电压与理论值的偏差比例;
S4、判断偏差比例是否在设定范围之内,如果在设定范围之内,则进入下一步骤,如果不在设定范围之内,则调整KV校准比例并返回步骤S2;
S5、结束。
2.根据权利要求1所述的减小高频高压发生器输出的直流高压误差的方法,其特征在于:在步骤S4中,如果不在设定范围之内,则通过上位机调整KV校准比例,通过串口发送相应指令给所述高频高压发生器,所述高频高压发生器的主控单元根据指令相应调节输出的直流高压并返回步骤S2。
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