[发明专利]一种主动隔热方式的柔性热膜剪应力微传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201911035943.7 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN110836742B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 马炳和;陈润博;严宇超;罗剑;邓进军 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 主动 隔热 方式 柔性 剪应力 传感器 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种主动隔热方式的柔性热膜剪应力微传感器，包括PI柔性衬底1、中间绝缘层2、下层发热单元3、上层热敏单元4、下层线阻单元5和上层线阻单元6；所述下层发热单元3与下层线阻单元5相连且厚度相同，该结构沉积在柔性衬底1上且被中间绝缘层2覆盖，下层发热单元3的电流驱动和信号采集都通过下层线阻单元5的连接实现；所述上层热敏单元4与上层线阻单元6相连且厚度相同，该结构沉积在中间绝缘层2上，上层热敏单元4的电流驱动和信号采集都通过上层线阻单元6的连接实现；所述下层发热单元3-下层线阻单元5的中心线和上层热敏单元4-上层线阻单元6的中心线平行，且两条中心线所构成的平面与基底平面垂直；其特征在于，所述下层发热单元3与上层热敏单元4的宽度比值为1.2～2.0；所述中间绝缘层材料为聚酰亚胺PI材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西北工业大学，未经西北工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911035943.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
