[发明专利]一种三维螺线电感装置的制造方法、电感装置和滤波器

说明书

本发明涉及无源器件技术领域，特别是涉及一种三维螺线电感装置的制造方法。所述方法包括：在砷化镓块表面刻制电容下极板，并在电容下极板表面设置第一硅隔离介质层；在所述第一硅隔离介质层上刻制第一通孔，所述第一通孔连通至所述电容下极板，并在所述第一硅隔离介质层上刻制电容上极板；从所述砷化镓块与所述电容下极板相对的一面刻制第二通孔，所述第二通孔连通至所述电容下极板；在所述砷化镓块与所述电容下极板相对的一面刻制背面金属走线部。本发明实施例提供一种三维螺线电感装置的制造方法通过分别从砷化镓块的两面分别加工，形成并可实现三维螺旋电感，提升其品质因数，从而提升滤波器性能，满足应用需要。

技术领域

本发明涉及无源器件技术领域，特别是涉及一种三维螺线电感装置的制造方法。

背景技术

滤波器是由电容、电感和电阻组成的滤波电路。滤波器可以对电源线中特定频率的频点或该频点以外的频率进行有效滤除，得到一个特定频率的电源信号，或消除一个特定频率后的电源信号。

现有技术开发的砷化镓片上射频滤波器，使用平面螺旋走线方式实现电感，其具有工艺简单，面积小等优点。但随着频率的进一步提升及高性能无源器件的要求，这类电感的品质参数无法获得更大的突破，其损耗无法降低，使得此种电感在一些应用中无法满足性能要求。

可见，现有技术中传统的平面螺旋走线实现电感的方式已经收到了极限的约束，无法获得更好的品质系数，电感损耗难以进一步降低。

发明内容

本发明实施例提供一种三维螺旋电感装置的制造方法，能够解决现有技术电感技术无法获得更好的品质系数，电感损耗难以进一步降低的技术问题。

本发明实施例是这样实现的，一种三维螺线电感装置的制造方法，所述方法包括以下步骤：

在砷化镓块表面刻制电容下极板，并在电容下极板表面设置第一硅隔离介质层；

在所述第一硅隔离介质层上刻制第一通孔，并在所述第一硅隔离介质层上方刻制电容上极板；

从所述砷化镓块与所述电容下极板相对的一面刻制第二通孔，所述第二通孔连通至所述电容下极板；

在所述砷化镓块与所述电容下极板相对的一面刻制背面金属走线部；

其中，所述电容下极板、所述第二通孔、所述背面金属走线部与另一所述第二通孔、另一所述电容下极板依次首尾相连，以形成单匝线圈结构，重复所述单匝线圈结构可形成多匝三维螺线结构。

本发明实施例提供一种三维螺线电感装置的制造方法通过分别从砷化镓块的两面分别加工，形成并可实现三维螺旋电感，提升其品质因数，从而提升滤波器性能，满足应用需要。

附图说明

图1是本发明实施例中提供的三维螺线电感装置的制造方法的流程图；

图2是本发明实施例中刻制电容下极板的加工截面示意图；

图3是本发明实施例中设置第一硅隔离介质层的加工截面示意图；

图4是本发明实施例中在第一硅隔离介质层上刻制第一通孔的加工截面示意图；

图5是本发明实施例中在第一硅隔离介质层上刻制电容上极板的加工截面示意图；

图6是本发明实施例中提供的另一三维螺线电感装置的制造方法的流程图；

图7是本发明实施例中在电容上极板上设置第二硅隔离介质层和管脚窗口的加工截面示意图；

图8是本发明实施例中刻制第二通孔的加工截面示意图；

图9是本发明实施例中提供的又一三维螺线电感装置的制造方法的流程图；

图10是本发明实施例中对第二通孔的孔壁进行加厚处理的加工截面示意图；