[发明专利]一种退火炉炉内气氛检测方法及系统

权利要求书

1.一种退火炉炉内气氛检测方法，其特征在于，所述方法应用于气氛分析仪中，所述气氛分析仪包括多个支路采样管以及氧分析仪，所述多个支路采样管与所述氧分析仪连通，所述每个所述支路采样管均由开关阀控制，每个支路采样管用于对不同的加热区进行采样，所述方法包括：

控制多个加热区的开关阀进行循环开启，对对应加热区的炉内气氛进行采样获得采样结果；其中，所述多个加热区的开关阀在同一时刻只存在一个开关阀开启；

在氧分析仪中对所述炉内气氛进行分析获得氧含量信号；

将所述氧含量信号进行标度变换，获得氧含量值；

每获得一个加热区的所述氧含量值，则判断所述氧含量值是否均大于预设阈值，若大于所述预设阈值则进行报警。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制多个加热区的开关阀进行循环开启，包括：

按照先后顺序依次对多个加热区内的开关阀进行开启3分钟。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气氛分析仪还包括：CFC功能块；所述将所述氧含量信号进行标度变换，获得氧含量值，包括：

将所述氧含量信号传入CFC功能块的AI模块；

在所述AI模块中将所述氧含量信号进行标度变换，获得氧含量值。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气氛分析仪还包括：人机显示界面；所述将所述氧含量信号进行标度变换，获得氧含量值之后，还包括：

每获得一个加热区的所述氧含量值，则将所述氧含量值更新到所述人机显示界面。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述加热区与所述支路采样管均为6个。

6.一种退火炉炉内气氛检测装置，其特征在于，所述装置应用于气氛分析仪中，所述气氛分析仪包括多个支路采样管以及氧分析仪，所述多个支路采样管与所述氧分析仪连通，所述每个所述支路采样管均由开关阀控制，每个支路采样管用于对不同的加热区进行采样，所述装置包括：

开关阀控制模块，用于控制多个加热区的开关阀进行循环开启，对对应加热区的炉内气氛进行采样获得采样结果；其中，所述多个加热区的开关阀在同一时刻只存在一个开关阀开启；

氧含量分析模块，用于在氧分析仪中对所述炉内气氛进行分析获得氧含量信号；

氧含量值获取模块，用于将所述氧含量信号进行标度变换，获得氧含量值；

预警判断模块，用于每获得一个加热区的所述氧含量值，则判断所述氧含量值是否均大于预设阈值，若大于所述预设阈值则进行报警。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述开关阀控制模块具体用于：

按照先后顺序依次对多个加热区内的开关阀进行开启3分钟。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述气氛分析仪还包括：CFC功能块；所述氧含量值获取模块，具体用于：

将所述氧含量信号传入CFC功能块的AI模块；

在所述AI模块中将所述氧含量信号进行标度变换，获得氧含量值。

9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述气氛分析仪还包括：人机显示界面；所述装置还包括：显示模块，用于在所述将所述氧含量信号进行标度变换，获得氧含量值之后，每获得一个加热区的所述氧含量值，则将所述氧含量值更新到所述人机显示界面。

10.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述加热区与所述支路采样管均为6个。