[发明专利]一种单步相移电子散斑干涉测量方法、系统、装置和存储介质

权利要求书

1.一种单步相移电子散斑干涉测量方法，其特征在于，包括：

采集被测物体的电子散斑图像；

从第一时刻采集所得的所述电子散斑图像中提取一幅第一相移图像；

从第二时刻采集所得的所述电子散斑图像中提取一幅第二相移图像；

对第一相移图像和第二相移图像进行插值计算；

根据插值计算的结果，生成所述第一相移图像的至少一幅子图像；

根据插值计算的结果，生成所述第二相移图像的至少一幅子图像；

对第一相移图像、第一相移图像的子图像、第二相移图像和第二相移图像的子图像进行分析，计算并提取得到第一时刻与第二时刻之间的相位差；所述相位差用于描述被测物体的表面位移的变化；

所述对第一相移图像和第二相移图像进行插值计算这一步骤，具体包括：

从所述电子散斑图像中提取前相移图像组和后相移图像组；所述前相移图像组包括在目标相移图像之前提取得到的多幅相移图像，所述后相移图像组包括在目标相移图像之后提取得到的多幅相移图像；所述目标相移图像分别为第一相移图像和第二相移图像；

利用提取得到的所述前相移图像组和所述后相移图像组，进行插值计算；

所述插值计算是通过以下公式执行的：

式中，I_n2、I_n3、I_n4分别为所述目标相移图像的子图像，I_n-6、I_n-5、I_n-3、I_n-2、I_n-1组成所述前相移图像组；I_n+1、I_n+2、I_n+3、I_n+5、I_n+6组成所述后相移图像组。

2.一种单步相移电子散斑干涉测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

采集被测物体在多个时刻的电子散斑图像；

对于任意第一时刻和第二时刻的电子散斑图像，执行如权利要求1所述的测量方法以输出第一时刻和第二时刻之间的相位差；所述相位差用于描述被测物体的表面位移的变化。

3.一种单步相移电子散斑干涉测量系统，其特征在于，包括：

采集模块，用于采集被测物体的电子散斑图像；

提取模块，用于从第一时刻采集所得的所述电子散斑图像中提取一幅第一相移图像，和从第二时刻采集所得的所述电子散斑图像中提取一幅第二相移图像；

计算模块，用于对第一相移图像和第二相移图像进行插值计算；

生成模块，用于根据插值计算的结果，生成第一相移图像的至少一幅子图像；和生成第二相移图像的至少一幅子图像；

处理模块，用于对第一相移图像、第一相移图像的子图像、第二相移图像和第二相移图像的子图像进行分析，计算并提取得到第一时刻与第二时刻之间的相位差；所述相位差用于描述被测物体的表面位移的变化；

输出模块，用于输出提取得到的相位差；

所述计算模块包括：

提取单元，用于从采集得到的被测物体的电子散斑图像中提取前相移图像组和后相移图像组，所述前相移图像组包括在目标相移图像之前提取得到的多幅相移图像，所述后相移图像组包括在目标相移图像之后提取得到的多幅相移图像；所述目标相移图像分别为第一相移图像和第二相移图像；

计算单元，用于利用提取得到的所述前相移图像组和所述后相移图像组，进行插值计算；

所述插值计算是通过以下公式执行的：

式中，I_n2、I_n3、I_n4分别为所述目标相移图像的子图像，I_n-6、I_n-5、I_n-3、I_n-2、I_n-1组成所述前相移图像组；I_n+1、I_n+2、I_n+3、I_n+5、I_n+6组成所述后相移图像组。