[发明专利]一种分拣倒装芯片的封盖高导热封装结构及其封装工艺在审
申请号: | 201911041615.8 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN110767616A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 阳芳芳;汪婷;马军;张光明 | 申请(专利权)人: | 太极半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/367;H01L21/56;H01L21/48 |
代理公司: | 32246 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 于浩江 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒装芯片 镀镍铜片 金属盖 基板 导热粘接层 高导热 分拣 封盖 导热粘接剂 热传导系数 产品封装 封装工艺 封装结构 封装类型 制造成本 硅垫片 填充胶 散热 粘连 薄型 量产 粘贴 焊接 背面 个性化 芯片 传递 客户 | ||
1.一种分拣倒装芯片的封盖高导热封装结构,其特征在于:包含基板(11)、倒装芯片(12)、镀镍铜片(4)和金属盖(7),金属盖(7)的边框通过焊接剂(6)焊接在基板(11)上,倒装芯片(12)位于金属盖(7)内;所述倒装芯片(12)的正面具有多个凸块,倒装芯片(12)与基板(11)之间设置填充胶(2);所述镀镍铜片(4)通过其下侧的下导热粘接层(3)粘贴在倒装芯片(12)的背面,镀镍铜片(4)的上侧通过上导热粘接层(5)与金属盖(7)粘连。
2.根据权利要求1所述的分拣倒装芯片的封盖高导热封装结构,其特征在于:所述填充胶(2)充满倒装芯片(12)与基板(11)之间的间隙,以及凸块与凸块之间的间隙。
3.根据权利要求1所述的分拣倒装芯片的封盖高导热封装结构,其特征在于:所述下导热粘接层(3)和上导热粘接层(5)均由点涂的导热粘接剂和锡膏组成。
4.根据权利要求1所述的分拣倒装芯片的封盖高导热封装结构,其特征在于:所述基板(11)的底部焊有锡球(9)。
5.一种分拣倒装芯片的封盖高导热封装工艺,其特征在于,包含以下步骤:
第一步:芯片倒装焊接;
将倒装芯片(12)倒装在基板(11)上,实现信号的100%对应连接;
第二步:芯片底部填充;
通过虹吸现象使填充胶(2)布满倒装芯片(12)与基板(11)的全部间隙,并固化以增强芯片凸块与基板焊盘的连接牢固度;
第三步:第一次点涂导热粘接剂和锡膏;
将导热粘接剂和锡膏均匀点涂在倒装芯片(12)的整个背面,形成下导热粘接层(3);
第四步:贴镀镍铜片并烘烤;
将镀镍铜片(4)通过下导热粘接层(3)粘贴在倒装芯片(12)的背面并压平,然后在烘箱中烘烤;
第五步:第二次点涂导热粘接剂和锡膏;
将导热粘接剂和锡膏均匀点涂在镀镍铜片整个背面,形成上导热粘接层(5);
第六步:点涂焊接剂;
将焊接剂(6)点涂在基板(11)的环形贴盖区;
第七步:粘贴金属盖;
将金属盖(7)对准基板(11)的环形贴盖区,并控制位移和压合高度;
第八步:全固化;
将完成金属盖压合的半成品放入烘箱(81)中,并填充压块(82),之后烘烤使整体全固化;
第九步:植球;
将锡球(9)焊接在基板(11)的球垫上,完成芯片信号单元通过基板到锡球的有效连通;
第十步:切单;
使用切刀将整板产品切割成单颗单元。
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