[发明专利]耐高温高精度电涡流式微小间隙测量传感器探头及应用

权利要求书

1.一种耐高温高精度电涡流式微小间隙测量传感器探头，其特征在于，该传感器探头包括平面空心感应线圈和封装所述平面空心感应线圈的封装陶瓷外壳；

所述平面空心感应线圈的材质为表面包裹耐高温绝缘漆的铂丝，且平面空心感应线圈是由所述铂丝在平面内螺旋紧密绕制成的空心圆盘结构，铂丝的两端分别为引线，且引线均伸出所述封装陶瓷外壳外部；

所述封装陶瓷外壳为圆柱形结构，且平面空心感应线圈封装在封装陶瓷外壳内。

2.如权利要求1所述的耐高温高精度电涡流式微小间隙测量传感器探头，其特征在于，所述平面空心感应线圈的铂丝直径为0.1mm-0.2mm，铂丝在平面内螺旋紧密绕制的匝数为8-15匝；

所述平面空心感应线圈中心的空心部位的直径为1mm。

3.如权利要求1所述的耐高温高精度电涡流式微小间隙测量传感器探头，其特征在于，所述封装陶瓷外壳的底面直径为10～12mm，高为51mm。

4.权利要求1至3任一权利要求所述的耐高温高精度电涡流式微小间隙测量传感器探头用于高温设备中的部件微小位移测量的应用或用于1000℃以上环境温度中的非接触微小位移测量的应用或用于燃气涡轮环境中的叶片间隙测量的应用。