[发明专利]分析装置、分析方法和存储介质

说明书

本发明提供分析装置、分析方法和存储介质。基于与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息，准确地修正与荧光X射线相关的信息。分析装置(100)包括：X射线测量装置(2)、光学特性测量装置(3)和运算部(4)。X射线测量装置(2)检测从测量对象产生的荧光X射线。光学特性测量装置(3)获取测量对象中包含的碳化合物的荧光X射线以外的光学特性。运算部(4)基于碳化合物的光学特性，计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息，并且基于与该碳化合物的量相关的信息，修正与由X射线测量装置(2)测量的荧光X射线相关的信息。

技术领域

本发明涉及分析装置、分析方法和存储有使计算机执行该分析方法的程序的存储介质，基于从测量对象产生的荧光X射线来获取与该测量对象中包含的元素相关的信息。

背景技术

以往，公知一种方法，基于从测量对象产生的荧光X射线来分析该测量对象中包含的元素。

例如，公知一种装置，由捕集过滤器捕集包含在大气中的漂浮颗粒状物质(例如PM2.5)，基于从该捕集的漂浮颗粒状物质产生的荧光X射线，分析漂浮颗粒状物质中包含的元素(例如专利文献1)。

该装置能够每隔规定的时间捕集漂浮颗粒状物质并执行连续的分析。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2015-219197号

在使用荧光X射线的测量对象的元素分析中，由于测量对象自身吸收测量对象产生的荧光X射线的现象(自吸收)的影响，有时不能准确地执行元素分析。例如，在像漂浮颗粒状物质一样主成分是碳化合物的测量对象的情况下，由于该碳化合物的自吸收，有时不能准确地执行测量对象中包含的碳以外的元素的分析。

另外，作为上述碳化合物例如具有黑碳、有机碳和褐碳等主成分的元素是碳而化学结构或性质不同的各种物质。例如，由烧荒等物质的燃烧产生的漂浮颗粒状物质以有机碳为主成分。

此外，难以准确地对测量对象中包含的碳化合物进行定量，并且难以准确地把握碳化合物的自吸收的影响。其结果，不能准确地修正由X射线检测器检测的荧光X射线，从而不能高精度地分析测量对象中包含的元素。

发明内容

本发明的课题在于在基于从测量对象产生的荧光X射线的元素分析中，准确地计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息，并且基于与该碳化合物的量相关的信息，准确地修正与荧光X射线相关的信息。

以下，作为用于解决课题的手段对多种方式进行说明。这些方式能够根据需要任意组合。

本发明的一种方式的分析装置是基于从测量对象产生的荧光X射线获取与该测量对象中包含的元素相关的信息的装置。分析装置包括X射线测量装置、光学特性测量装置和运算部。

X射线测量装置测量荧光X射线。光学特性测量装置获取测量对象中包含的碳化合物的光学特性。

运算部基于碳化合物的光学特性，计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息。此外，运算部基于与碳化合物的量相关的信息，修正与由X射线测量装置测量的荧光X射线相关的信息。

由此，能够基于该碳化合物的光学特性，准确地计算与测量对象中包含的碳化合物的量相关的信息，并且能够基于利用光学特性计算的与碳化合物的量相关的信息，准确地修正与受到碳化合物的自吸收的影响的荧光X射线相关的信息。

光学特性测量装置可以具有对测量对象的光学特性进行测量的传感器。由此，能够测量在测量对象中包含的碳化合物的光学特性。

上述传感器可以是获取测量对象的图像数据的图像获取传感器。由此，能够将测量对象的较宽范围的光学特性获取为图像数据。