[发明专利]表面性状测定方法和表面性状测定装置

权利要求书

1.一种表面性状测定方法，其特征在于，

使用表面性状测定装置，所述表面性状测定装置具有被支承为以使触针沿上下方向产生位移的方式自如摆动的臂以及使所述臂转动来将所述触针保持在规定高度的臂升降机，

将所述臂升降机配置为能够将所述臂保持在下限高度的状态，所述下限高度为从规定的测定高度起的向下规定的落下量的位置，之后，

将所述臂配置在所述测定高度且使所述触针接触被测定物，

在该状态下对所述被测定物的表面性状进行测定。

2.根据权利要求1所述的表面性状测定方法，其特征在于，

所述表面性状测定装置具有：测定器主体，其设置有所述臂和所述臂升降机；以及移动机构，其能够使所述测定器主体相对于所述被测定物进行相对移动，

在所述测定器主体中，将所述臂升降机配置为能够将所述臂保持在所述下限高度的状态，之后，

通过利用所述移动机构使所述测定器主体移动，来使所述触针接触所述被测定物，并且将所述臂配置在所述测定高度，

在该状态下对所述被测定物的表面性状进行测定。

3.根据权利要求1或2所述的表面性状测定方法，其特征在于，

所述下限高度和所述测定高度是根据所述被测定物的设计信息预先设定的。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的表面性状测定方法，其特征在于，

所述臂的高度位置是由用于检测所述臂的摆动位置的标尺以及用于检测所述臂升降机的旋转凸轮的旋转角度位置的编码器中的任一个获取的。

5.根据权利要求4所述的表面性状测定方法，其特征在于，

通过参照由所述标尺或所述编码器获取的所述臂的高度并使保持着所述臂的状态的所述臂升降机进行动作，来将所述臂配置到所述下限高度，之后，

使所述臂自所述臂升降机分离，来将所述臂升降机配置为能够将所述臂保持在所述下限高度的状态。

6.一种表面性状测定装置，其特征在于，具有：

臂，其被支承为以使触针沿上下方向产生位移的方式自如摆动；臂升降机，其使所述臂转动来将所述触针保持在规定高度；测定器主体，其设置有所述臂和所述臂升降机；移动机构，其能够使所述测定器主体相对于被测定物进行相对移动；以及控制装置，其对所述臂、所述臂升降机及所述移动机构进行控制，

其中，所述控制装置在所述测定器主体中将所述臂升降机配置为能够将所述臂保持在下限高度的状态，所述下限高度为从规定的测定高度起的向下规定的落下量的位置，之后，

所述控制装置通过利用所述移动机构使所述测定器主体移动，来使所述触针接触所述被测定物，并且将所述臂配置在所述测定高度，

所述控制装置在该状态下对所述被测定物的表面性状进行测定。