[发明专利]微影图案化的方法在审
| 申请号： | 201911044481.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN111123652A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 欧阳盼盼 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种微影图案化方法，包括：
形成一光阻层于一基底之上；
使用一含金属前驱物对该光阻层执行一渗透制程，以增强该光阻层对一极紫外光辐射的敏感度；
使用该极紫外光辐射对该光阻层执行一曝光制程；以及
对该光阻层执行一显影制程以形成一图案化阻抗层。
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