[发明专利]水晶探头遮罩装置

说明书

本发明公开了一种水晶探头遮罩装置。本发明通过在水晶探头遮罩装置的遮罩开口处设置过滤网，且由马达通过切换杆控制过滤网的切换或旋转，以减少直接沉积在晶振片表面的材料，从而提高晶振片的使用寿命。

技术领域

本发明属于显示技术领域，尤其涉及一种水晶探头遮罩装置。

背景技术

OLED器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜，在蒸镀过程中，采用晶振片进行蒸镀速率及膜厚监测。蒸镀的材料通过膜厚检测装置的开口区沉积到晶振片上，利用晶振片固有频率及膜厚的线性关系来显示实时镀率及膜厚。随着膜厚的增加，晶振片基频下降，若下降太多可能导致晶振片发生跳频现象，造成监测的膜厚不准确。因此在晶振片上沉积一定的厚度后，需要及时更换晶振片。而更换晶振片时需停机开腔处理，影响产能。

另外，蒸镀水晶探头晶振片保持架的遮罩上设有开口，且开口直径大于晶振片直径，于是，蒸镀的材料可通过开口直接沉积到晶振片上。

因此，如何提高晶振片的使用寿命，是显示技术中的一项重要课题。

发明内容

本发明实施例提供一种水晶探头遮罩装置，通过在水晶探头遮罩装置的遮罩开口处设置过滤网，且由马达通过切换杆控制过滤网的切换或旋转，以减少直接沉积在晶振片表面的材料，从而提高晶振片的使用寿命。

本发明提供一种水晶探头遮罩装置，其包括：一遮罩，所述遮罩设有一开口；一晶振片保持架，设于所述遮罩的腔体内，所述晶振片保持架包括一晶振片；一过滤结构，设于所述开口的上方，所述过滤结构包括一过滤网和至少一切换杆；以及一马达，与所述至少一切换杆电性连接，所述马达用于通过所述切换杆控制所述过滤网的更换。

进一步地，所述马达还与所述晶振片保持架电性连接，控制所述晶振片的更换。

进一步地，所述至少一切换杆用于固接所述过滤网。

进一步地，所述至少一切换杆为滚动杆，所述过滤网覆盖于所述开口。

进一步地，所述至少一切换杆为旋转杆，所述过滤网与所述开口平行，所述过滤网的面积大于所述开口的面积。

进一步地，所述开口的直径范围为2至3毫米。

进一步地，所述开口的中心与所述晶振片的中心为同轴设置。

进一步地，所述过滤网上设有多个开孔，且所述多个开孔为规则排列。

进一步地，所述多个开孔的形状包括圆形及方形。

进一步地，所述过滤网的材料包括不锈钢。

本发明实施例提供一种水晶探头遮罩装置，通过在水晶探头遮罩装置的遮罩开口处设置过滤网，且由马达通过切换杆控制过滤网的切换或旋转，以减少直接沉积在晶振片表面的材料，从而提高晶振片的使用寿命。

附图说明

下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其有益效果显而易见。

图1是本发明一实施例提供的一种水晶探头遮罩装置的侧视图。

图2是图1所示的所述水晶探头遮罩装置的正视图。

图3是图1所示的所述水晶探头遮罩装置的过滤网的结构示意图。

图4是图1所示的所述水晶探头遮罩装置的马达的连接结构示意图。

图5是本发明另一实施例提供的一种水晶探头遮罩装置的侧视图。

图6是图5所示的所述水晶探头遮罩装置的正视图。

图7是图5所示的所述水晶探头遮罩装置的马达的连接结构示意图。