[发明专利]一种光学参数与形貌同时测量的装置

权利要求书

1.一种光学参数与形貌同时测量的装置，其特征在于，包括：

第一光路组件，用于将第一光源光垂直照射到待测物品上，并将所述第一光源光经待测物品反射出的光线至少分为两束光；检测所述两束光中的一束光的光强；感应所述两束光中的另一束光，处理生成图像；

第二光路组件，用于将线偏振光斜射在待测物品上；改变所述线偏振光经所述待测物品反射后的光线的偏振方向，并输出偏振光；检测所述偏振光的光强；

其中，所述第一光路组件和/或所述第二光路组件还包括光纤转换器，所述光纤转换器与至少两根单芯光纤的一端连接，用于让所述至少两根单芯光纤中的一根单芯光纤接收到光，并让所述至少两根单芯光纤中的其余的单芯光纤接收不到光或接收到很弱的光；

其中，所述线偏振光斜射在所述待测物品上被第一分光器垂直照射的位置。

2.根据权利要求1所述装置，其特征在于，所述第一光路组件包括：

第一光源，用于发出光以形成第一光路；

第一分光器，用于将所述第一光源发出的光反射并垂直照射待测物品，并且用于让所述待测物品反射出的光的至少一部分透过成为透过光；

物镜，所述物镜被设置在第一光路位于所述第一分光器与所述待测物品之间的部分上，所述待测物品处于所述物镜的焦点处；

第二分光器，用于让所述透过光的一部分反射，并让所述透过光的另一部分透过；

第一光检测器，用于检测接收到的所述透过光透过所述第二分光器的一部分的光强；

图像采集器，用于感应所述第二分光器反射出的光或者感应经由反射系统传输的第二分光器反射出的光，处理生成图像。

3.根据权利要求2所述装置，其特征在于，所述装置还包括两组光纤芯，所述第一光路组件和所述第二光路组件各包括一组所述光纤芯，每一组所述光纤芯包括至少两个光纤芯；

每一组所述光纤芯接收光的一端合并为多芯光纤；

其中一组所述光纤芯中的至少两个光纤芯的所述一端的相对端与另一组所述光纤芯中的至少两个光纤芯的所述一端的相对端一一对应地合并为双芯光纤，所述双芯光纤与所述第一光检测器一一对应地连接。

4.根据权利要求2所述装置，其特征在于，所述第二光路组件包括：

第二光源，用于发出光以形成第二光路；

起偏器，用于将所述第二光源发出的光转变为偏振光，并照射所述待测物品；

检偏器，用于改变所接收的来自所述待测物品的光的偏振方向，并输出线偏振光；

其中，在所述第二光路上设置第一光检测器和/或第二光检测器；所述第一光检测器和/或第二光检测器用于检测所述线偏振光的光强。

5.根据权利要求4所述装置，其特征在于，所述装置还包括：

光强变化器，设置在第二光路中，用于调谐所述检偏器输出的所述线偏振光的强度的强弱，使所述线偏振光的强度减弱或增强、维持不变；

第一可移动挡板，设置在所述第一光路位于所述第二分光器和所述第一光检测器的部分上；

第二可移动挡板，设置在所述第二光路位于所述第二光源与所述第一光检测器的部分上。

6.根据权利要求4所述装置，其特征在于，

所述第一光源包括多个激发出不同波长范围光的第一光源；和/或，

所述第二光源包括多个激发出不同波长范围光的第二光源。

7.根据权利要求4所述装置，其特征在于，所述第一光检测器的设置数目与单个所述光纤转换器连接的所述单芯光纤的总根数相同。

8.根据权利要求7所述装置，其特征在于，

所述光纤转换器设置的数目为两个，其中一个光纤转换器设置在所述第一光路位于所述第二分光器和所述第一光检测器的部分上，另一个光纤转换器设置在所述第二光路位于所述检偏器和所述第一光检测器的部分上，与所述第一光路中的光纤转换器连接的单芯光纤和与所述第二光路中的光纤转换器连接的单芯光纤一一对应地合并成双芯光纤，所述双芯光纤与所述第一光检测器一一对应地连接。