[发明专利]一种粒子束发射角的测量装置

权利要求书

1.一种粒子束发射角的测量装置，其特征在于，包括粒子加速器(1)、绝缘垫(2)、控制开关(3)、压力传感阵列(4)、阵列绝缘板(5)、数据收集器(6)、数据处理器(7)和数据同步显示器(8)，其中：

所述粒子加速器(1)与所述压力传感阵列(4)连接；

所述压力传感阵列(4)与所述数据收集器(6)连接；

所述数据收集器(6)与所述数据处理器(7)连接；

所述数据处理器(7)与所述数据同步显示器(8)连接；

所述压力传感阵列(4)分布于所述阵列绝缘板(5)上；

所述绝缘垫(2)位于所述压力传感阵列(4)下；

所述控制开关(3)分别位于所述阵列绝缘板(5)的前壁和后盖上，并与所述压力传感阵列(4)连接。

2.根据权利要求1所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，所述压力传感阵列(4)中各压力传感器均为压阻式压力传感器，相邻压力传感器之间有一间隙并相互咬合分布于所述阵列绝缘板(5)上，且任意两个压力传感器之间电绝缘。

3.根据权利要求2所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，每个所述压力传感器内设置有电阻R₁、电阻R₂、电阻R₃、电阻R₄以及弹性平行梁(13)，其中：

所述电阻R₁和电阻R₃分别粘贴于所述弹性平行梁(13)的上表面；

所述电阻R₂和电阻R₄分别粘贴于所述弹性平行梁(13)的下表面。

4.根据权利要求3所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，每个所述压力传感器包括由引线(9)、敏感栅(10)、基底(11)和覆盖层(12)构成的应变片，且所述应变片与外部测量电路连接，其中：

所述基底(11)与所述弹性平行梁(13)连接；

所述引线(9)与所述敏感栅(10)连接；

所述敏感栅(10)通过黏合剂与所述基底(11)连接；

所述覆盖层(12)覆盖于所述引线(9)与所述敏感栅(10)上方。

5.根据权利要求3所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，所述弹性平行梁(13)的一端固定，另一端悬空。

6.根据权利要求1所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，所述压力传感阵列(4)的粒子收集端为黄铜。

7.根据权利要求1所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，所述阵列绝缘板(5)采用高分子合成树脂制成。

8.根据权利要求1所述的粒子束发射角的测量装置，其特征在于，所述绝缘垫(2)采用特氟龙材料制成。