[发明专利]一种长寿命强流二极管复合阳极及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201911049710.2 申请日: 2019-10-31
公开(公告)号: CN110797244B 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 胡杨;孙江;杨海亮;孙剑锋;丛培天;呼义翔;曾江涛;尹佳辉;蔡丹;苏兆锋;张金海 申请(专利权)人: 西北核技术研究院
主分类号: H01J35/08 分类号: H01J35/08;H01J35/22;H01J9/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 郑丽红
地址: 710024 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 寿命 二极管 复合 阳极 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种长寿命强流二极管复合阳极,其特征在于:包括依次设置的等离子体抑制层(1)、轫致辐射层(2)、电子中子吸收层(3)和真空结构支撑层(4);

所述等离子体抑制层(1)由比热容大、热导率高、致密性佳的低原子序数材料组成,具体材料为石墨烯或钛,采用真空等离子体方式进行喷涂,主要用于抑制阳极靶表面等离子体形成及提升辐射场均匀性;所述轫致辐射层(2)由50μm纯钽箔叠加而成,叠加数量为9层~12层,各层间的气隙小于1μm;所述电子中子吸收层(3)的材料为石墨,主要用于吸收透射的电子和在轫致辐射层(2)中产生的中子,减小辐射场中的电子中子份额;所述真空结构支撑层(4)的材料为1系铝;

所述等离子体抑制层(1)的厚度为2~50μm;

所述轫致辐射层(2)的厚度为0.45mm~0.90mm;

所述电子中子吸收层(3)的厚度为0.5mm~20mm;

所述真空结构支撑层(4)的厚度为2mm~1cm。

2.一种长寿命强流二极管复合阳极的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一、对钽箔进行清洁除尘处理,在无尘车间内将多层钽箔压制为叠靶,形成轫致辐射层;所述轫致辐射层的厚度为0.45mm~0.90mm,由50μm纯钽箔叠加而成,叠加数量为9层~12层,各层间的气隙小于1μm;

步骤二、在无尘车间内采用真空等离子体喷涂的方式将石墨烯或钛喷涂在轫致辐射层的一侧表面,形成等离子体抑制层;所述等离子体抑制层的厚度为2~50μm;

步骤三、制备高纯石墨层和1系铝层,进行除尘处理,形成电子中子吸收层和真空结构支撑层;所述电子中子吸收层的厚度为0.5mm~20mm,所述真空结构支撑层的厚度为2mm~1cm;

步骤四、在无尘实验室中,按照等离子体抑制层、轫致辐射层、电子中子吸收层和真空结构支撑层的顺序依次装配至二极管处,并压紧。

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