[发明专利]基于光纤结构谐振腔原理的气体压强探测器及系统

权利要求书

1.一种基于光纤结构谐振腔原理的气体压强探测器，其特征在于，所述气体压强探测器包括：腔体、光纤、夹持部和挤压部；

所述腔体为空腔结构，且一面开口，所述挤压部镶嵌在所述腔体开口位置，且可以沿所述腔体的内壁进行滑动，并与所述腔体形成了一个密闭空间，所述挤压部靠近所述空腔的一侧固定设置有所述夹持部，所述夹持部为空腔结构，所述腔体与所述夹持部对应的位置开设有一通孔，所述光纤的一端从所述通孔伸入，且延伸到所述夹持部的空腔结构内部，所述光纤、所述夹持部和所述挤压部形成了一个密闭空间；所述光纤的横截面的形状为偏平状；所述夹持部靠近所述挤压部的厚度大于远离所述挤压部的厚度；

所述气体压强探测器还包括金属膜，所述金属膜设置在所述光纤靠近所述挤压部的面上。

2.根据权利要求1所述的基于光纤结构谐振腔原理的气体压强探测器，其特征在于，所述挤压部设置所述夹持部的位置开设有排气孔。

3.根据权利要求1所述的基于光纤结构谐振腔原理的气体压强探测器，其特征在于，所述夹持部的材料为贵金属材料。

4.根据权利要求3所述的基于光纤结构谐振腔原理的气体压强探测器，其特征在于，所述贵金属材料包括金或银中至少一种。

5.根据权利要求1所述的基于光纤结构谐振腔原理的气体压强探测器，其特征在于，所述夹持部的高度大于100微米。

6.根据权利要求1所述的基于光纤结构谐振腔原理的气体压强探测器，其特征在于，所述金属膜的材料包括：金或银中任意一种贵金属材料。

7.一种基于光纤结构谐振腔原理的气体压强探测系统，其特征在于，所述气体压强探测系统包括：光源、波长检测装置和权利要求1-6任意一项所述的气体压强探测器，所述光源与所述气体压强探测器的光纤连接，用于给所述光纤提供光线，所述波长检测装置用于检测所述光纤、所述夹持部和所述挤压部形成了一个密闭空间内的波长。