[发明专利]一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置

权利要求书

1.一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于，包括坩埚（2）、火山口（1）、多个衬埚（3）、多个升降装置（5）和驱动装置（6），所述坩埚（2）内设有多个坩埚容器（211），所述衬埚（3）内盛放蒸镀源且放置在所述坩埚容器（211）内，坩埚（2）上方置有所述火山口（1），坩埚（2）底端开设有多个孔口（4），所述升降装置（5）穿过孔口（4）与坩埚（2）连接，并所述驱动装置（6）电性连接，驱动装置（6）控制并调节衬埚（3）的运作状态。

2.根据权利要求1所述的防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于，所述衬埚（3）运作时，衬埚（3）的上端不低于火山口（1）的下端。

3.根据权利要求1所述的防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于，所述升降装置（5）包括倒工字型升降台（511）和弹性件。

4.根据权利要求3所述的防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于，所述倒工字型升降台（511）上端放置所述衬埚（3）。

5.根据权利要求3所述的防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于，所述弹性件位于倒工字型升降台（511）中间并包裹于其外周。

6.根据权利要求3所述的防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧（52）。

7.根据权利要求1所述的防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于，所述升降装置（5）与所述坩埚容器（211）数目一致。

8.根据权利要求1所述的防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于，所述驱动装置（6）包括推杆（621）和驱动电机（622），所述驱动电机（622）的输出轴调节所述升降装置（5）与所述衬埚（3）朝向或背离所述火山口（1）运动。