[发明专利]夹具及具有其的镀膜设备

说明书

本公开涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种夹具及具有其的镀膜设备，夹具包括本体部、压条以及第一限位板；压条设置在本体部上，压条为多个，相邻两个压条与本体部之间形成用于夹设工件的容纳空间，容纳空间的至少部分位于压条的下方；第一限位板设置在本体部上，且位于相邻两个压条的端部，以限制工件从容纳空间的一端滑出；其中，相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，以调节容纳空间的大小。由于相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，即容纳空间可以适应不同大小的工件，从而实现了对多尺寸工件的放置。

技术领域

本公开涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种夹具及具有其的镀膜设备。

背景技术

产品的装夹固定在PVD物理气相沉积(真空镀膜等)领域中是一项必不可少的工作。PVD物理气相沉积领域中，绝大部份的产品都很单薄，现阶段多般采用以下二种方式对产品进行固定。

第一种是采用高温胶带将产品固定在基板上，再把基板挂在设备转架上。基板围绕着转架挂满一圈，在成膜过程中绕着转架中心进行快速旋转，很多时候基板上的产品在旋转过程中，由于高温胶带失效或贴不紧导致产品被甩掉。这种方法的缺点很明显：装卸产品过程繁琐，要装产品摆正后，再人工贴高温胶带，工作量大，费时费力，浪费生产成本，而且甩出来的产品属于废品，直接影响产品的不良率。

第二种方法是根据产品规格大小制作相应固定的夹具，不同规格尺寸的产品对应不同规格的固定夹具。这种方法的缺点是：产品规格种类多的生产厂家，需要针对不同的产品备制不同的夹具，每更换一种产品，需要更换一批夹具，增加夹具的制造成本及夹具管理成本。

发明内容

本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种夹具及具有其的镀膜设备。

根据本发明的第一个方面，提供了一种夹具，包括：

本体部；

压条，压条设置在本体部上，压条为多个，相邻两个压条与本体部之间形成用于夹设工件的容纳空间，容纳空间的至少部分位于压条的下方；

第一限位板，第一限位板设置在本体部上，且位于相邻两个压条的端部，以限制工件从容纳空间的一端滑出；

其中，相邻两个压条中的至少一个可移动地设置，以调节容纳空间的大小。

在本发明的一个实施例中，相邻两个压条中的至少一个为L型板或T型板，以与本体部之间形成预设空间，预设空间为容纳空间的至少部分。

在本发明的一个实施例中，相邻两个压条平行设置，以使容纳空间为矩形空间；

其中，多个压条的长度可不相等。

在本发明的一个实施例中，本体部上设置有滑槽，夹具还包括：

滑块，滑块与压条相连接，滑块设置在滑槽内，以使压条通过滑块设置在本体部上；

其中，滑块具有与本体部相贴合的第一状态和与本体部相分离的第二状态，当滑块具有第一状态时，滑块与滑槽相对固定设置，当滑块具有第二状态时，滑块沿滑槽可移动地设置。

在本发明的一个实施例中，滑块沿滑槽的高度方向可移动地设置，以使滑块与本体部背离压条的一面相贴合或相分离。

在本发明的一个实施例中，滑块包括：

滑动段，滑动段设置在滑槽内，且与压条相连接；

止挡段，止挡段与滑动段相连接，止挡段位于本体部背离压条的一侧；

其中，当滑块具有第一状态时，止挡段与本体部相贴合，且止挡在滑槽的端口上，当滑块具有第二状态时，止挡段与本体部相分离。

在本发明的一个实施例中，夹具还包括：