[发明专利]用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备

权利要求书

1.一种用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，包括六轴插取片机器人(1)和硅片过渡传输导轨(2)，其特征在于：还包括三个立式镀膜反应柜(3)，三个所述立式镀膜反应柜(3)围成C形区域，所述硅片过渡传输导轨(2)设于C形区域的开口处，所述六轴插取片机器人(1)设于C形区域内。

2.根据权利要求1所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：所述立式镀膜反应柜(3)内装设有镀膜反应室(31)，所述镀膜反应室(31)内设有真空热反应腔(32)和石墨舟升降机构(33)，所述石墨舟升降机构(33)上装设有呈立式设置的石墨舟(4)，所述真空热反应腔(32)的顶部设有用于石墨舟(4)出入的出入口(321)。

3.根据权利要求2所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：所述石墨舟(4)包括多层间隔设置的石墨片(41)，所述石墨片(41)上设有向上凸起的用于支撑硅片(8)的硅片支撑部(42)。

4.根据权利要求3所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：所述六轴插取片机器人(1)的活动端装设有多层间隔设置的插取板(11)，各插取板(11)上均设有真空吸盘(12)，相邻插取板(11)之间的间距与相邻石墨片(41)之间的间距相同。

5.根据权利要求2所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：所述石墨舟升降机构(33)包括垂直运动模组(331)、石墨舟装载组件(332)和用于密封出入口(321)的密封炉门(333)，所述石墨舟装载组件(332)的顶端设于垂直运动模组(331)上，所述密封炉门(333)设于石墨舟装载组件(332)的顶部，所述石墨舟(4)装载于石墨舟装载组件(332)内。

6.根据权利要求5所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：所述垂直运动模组(331)包括丝杆(3311)、垂直升降架(3312)和伺服电机(3313)，所述垂直升降架(3312)滑设于镀膜反应室(31)内，所述丝杆(3311)装设于镀膜反应室(31)内，所述丝杆(3311)的一端与伺服电机(3313)连接，另一端与垂直升降架(3312)螺纹连接，所述石墨舟装载组件(332)吊设于垂直升降架(3312)的顶部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：还包括抽真空机构(5)，所述抽真空机构(5)与各立式镀膜反应柜(3)连接。

8.根据权利要求7所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：所述真空机构(5)包括一个抽空真空泵(51)和三个压力控制真空泵(52)，所述抽空真空泵(51)与各立式镀膜反应柜(3)均连接，三个压力控制真空泵(52)与三个立式镀膜反应柜(3)一一对应连接。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：所述硅片过渡传输导轨(2)包括并排设置的上料导轨(21)和下料导轨(22)。

10.根据权利要求9所述的用于光伏电池镀膜的立式PECVD设备，其特征在于：所述上料导轨(21)和下料导轨(22)均为两根。