[发明专利]一种掩膜版有效
| 申请号： | 201911053494.9 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110629158B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 张志远 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 | ||
1.一种掩膜版，其特征在于，包括：
边框及所述边框环绕的开口；
遮挡部以及连接所述遮挡部与所述边框的至少一个连接部，所述遮挡部设置于所述开口内；
沿垂直于所述掩膜版的方向，所述连接部包括靠近待蒸镀基板的第一部分和远离所述待蒸镀基板第二部分，所述第二部分的垂直投影覆盖所述第一部分的垂直投影，所述第一部分平行于所述掩膜版的横截面积沿靠近所述待蒸镀基板的方向逐渐减小；
所述连接部靠近所述待蒸镀基板的表面设置有至少一个第二凹槽，所述第二凹槽内设置有多个凸起结构。
2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，沿垂直于所述掩膜版的方向，所述第二部分平行于所述掩膜版的横截面积沿远离所述待蒸镀基板的方向逐渐减小。
3.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述遮挡部靠近所述待蒸镀基板的表面设置有至少一个第一凹槽，和/或，所述遮挡部远离所述待蒸镀基板的表面设置有至少一个第一凹槽。
4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述遮挡部包括中间区和环绕所述中间区的边缘区，所述第一凹槽位于所述中间区。
5.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，沿垂直于所述掩膜版的方向，所述凸起结构的高度相同；和/或，所述多个凸起结构均匀分布。
6.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述连接部呈直线状。
7.根据权利要求6所述的掩膜版，其特征在于，所述遮挡部通过多个所述连接部与所述边框连接，至少两个所述连接部的延伸方向不同。
8.根据权利要求7所述的掩膜版，其特征在于，沿垂直于所述连接部延伸方向的方向，所述连接部的最大宽度大于等于150微米，小于等于300微米。
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