[发明专利]一种超洁净阀

权利要求书

1.一种超洁净阀，包括阀体、阀盖、阀芯、弹性组件和致动组件，其特征在于：所述的阀体与阀盖紧密装配后，阀体内部作为超洁净流室，在超洁净流室流体出口设置出口流道；阀盖内部设置进口流道，进口流道设置在超洁净流室流体入口；阀芯通过弹性组件固定在超洁净流室内，位于超洁净流室流体入口；阀芯为一个或多个永磁体，阀芯外包覆超洁净材料；致动组件设置在阀盖外壁，致动组件与阀芯相对设置，致动组件为变磁装置，通过磁性的变化与弹性组件配合实现阀芯的运动。

2.根据权利要求1所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述的超洁净材料是含氟塑料的任意组合。

3.根据权利要求2所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述的含氟塑料包括过氟烷氧基、聚四氟乙烯或聚偏二氟乙烯。

4.根据权利要求2所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述阀芯在注塑过程中直接嵌入超洁净材料中，或与超洁净材料焊接密封，或通过螺纹与超洁净材料密封，或与超洁净材料胶合，或通过增材制造、涂层、裹覆实现阀芯表面超洁净材料的包覆。

5.根据权利要求1所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述的弹性组件为采用超洁净材料制造或表面包覆有超洁净材料的弹簧；弹簧的两端以超声波焊接、摩擦焊接、振动焊接、热焊接、胶合、销键固定或螺纹连接的方式固定在阀芯和阀体上。

6.根据权利要求1所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述弹性组件是采用超洁净材料制造或表面包覆有超洁净材料的曲梁，阀芯通过多根曲梁连接到圆环形基座上构成曲梁圆环结构；曲梁为柔性材料。

7.根据权利要求1～6中任一权利要求所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述的致动组件包括电磁铁，通过改变电磁铁的电流通断、强弱和方向，控制所述阀芯的开闭或开度。

8.根据权利要求1～6中任一权利要求所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述的致动组件包括永磁体，调节永磁体到阀芯的距离以控制所述阀芯的开闭或开度。

9.根据权利要求1～6中任一权利要求所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述致动组件包括致动永磁体和磁屏蔽罩；磁屏蔽罩的材料具有相对于空气显著大的磁导率；磁屏蔽罩位于致动永磁体和阀芯之间；通过调节磁屏蔽罩对致动永磁体的遮蔽程度控制阀芯的开闭或开度。

10.根据权利要求1～6中任一权利要求所述的一种超洁净阀，其特征在于：所述的阀芯闭合时其端面与进口流道或出口流道的末端端面形成平面密封。