[发明专利]微型过滤器及MEMS传感器组件有效
| 申请号： | 201911056422.X | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110809207B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 畠山庸平;林育菁 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/02 | 分类号： | H04R1/02;H04R9/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 石伟 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微型 过滤器 mems 传感器 组件 | ||
1.一种微型过滤器，其特征在于，包括：
承载件，具有形成于其内的在其厚度方向上贯通的贯通腔；以及
滤膜，叠置于所述承载件上，所述滤膜包括覆盖所述贯通腔的一个开口的第一部分与未覆盖所述开口的第二部分，所述第一部分被所述第二部分环绕,所述第一部分上排布有通孔，所述第二部分接合所述承载件；
其中，所述滤膜是由金属玻璃制成的，所述第一部分仅在其边缘处通过单个梁来连接所述第二部分，并藉此悬置在所述贯通腔上，所述梁是所述滤膜的一部分并且是与所述第一部分和所述第二部分一体成型的。
2.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述滤膜的厚度为5nm至5μm。
3.根据权利要求2所述的微型过滤器，其特征在于，所述滤膜的厚度为20nm至1000nm。
4.根据权利要求1所述的微型过滤器，其特征在于，所述通孔的内径均为1nm至100μm。
5.根据权利要求4所述的微型过滤器，其特征在于，所述通孔的内径均为100nm至10μm。
6.一种MEMS传感器组件，其特征在于，包括：
根据权利要求1至5中任一项所述的微型过滤器，以及
MEMS传感器，所述MEMS传感器上具有开口并且能够经由该开口进行感测；
所述微型过滤器以覆盖所述开口的方式被安装到所述MEMS传感器。
7.根据权利要求6所述的MEMS传感器组件，其特征在于，所述MEMS传感器组件是用在麦克风模组或麦克风芯片中的。
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