[发明专利]掩膜板组件有效
申请号: | 201911056599.X | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN110629160B | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 吕守华;李宝军 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;姜春咸 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 组件 | ||
1.一种掩膜板组件,其特征在于,包括:
框架,包括开口部分以及围绕所述开口部分的边框部分,所述边框部分上设置至少一个第一对位孔;
支撑掩膜板,位于所述框架的一侧,用于支撑玻璃基板,所述支撑掩膜板包括与所述开口部分对应的有效开口区域、至少一个对位区域,所述对位区域中具有与所述第一对位孔对应的第二对位孔;
所述边框部分包括:与所述支撑掩膜板的对位区域对应的第一安装槽,所述第一对位孔设置在所述第一安装槽的底面,所述支撑掩膜板的对位区域固定在所述第一安装槽中,并且所述支撑掩膜板和框架的上表面在同一平面。
2.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述对位区域的数量为两个,两个所述对位区域在平行于第一方向的方向上相对设置。
3.根据权利要求2所述的掩膜板组件,其特征在于,每个所述对位区域的所述第二对位孔的数量为两个,每个所述对位区域的两个第二对位孔在平行于第二方向的方向上相对设置,所述第二方向与所述第一方向垂直,且所述第一方向和所述第二方向均与所述支撑掩膜板所在的平面平行。
4.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述支撑掩膜板的边缘设有多个安装区域;
所述边框部分还包括:与所述安装区域对应的第二安装槽,所述安装区域固定在所述第二安装槽中。
5.根据权利要求4所述的掩膜板组件,其特征在于,所述安装区域呈条状,每个所述安装区域分别与其所对应的所述支撑掩膜板的边缘垂直。
6.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述支撑掩膜板还包括:位于所述对位区域的至少一个第一测试孔;
所述框架还包括:与所述第一测试孔一一对应的第二测试孔。
7.根据权利要求6所述的掩膜板组件,其特征在于,每个所述对位区域的第一测试孔的数量为两个。
8.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述框架为矩形框架,所述开口部分为矩形的开口。
9.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述框架还包括:支撑部分,设置于所述边框部分背向所述支撑掩膜板的一侧,与所述边框部分远离所述开口部分的位置固定连接,用于支撑所述边框部分。
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