[发明专利]镜片底部气帘防护装置有效

专利信息
申请号: 201911056658.3 申请日: 2019-10-31
公开(公告)号: CN112748641B 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 龚辉;张洪博;郝保同;张瑞平 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 镜片 底部 防护 装置
【权利要求书】:

1.一种镜片底部气帘防护装置,其特征在于,包括:若干设置在镜片底部一定空间内相对分布的斜向出气口,所述斜向出气口的下方设置有向镜片中心延伸的水平挡板,所述水平挡板之间的距离大于镜片的直径,气体通过所述斜向出气口向镜片出射,并在距离镜片底部一定距离处相遇,以在镜片底部形成防护气帘。

2.根据权利要求1所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述镜片底部气帘防护装置还包括:设置在镜片底部的腔体、设置在所述腔体上的进气口及设置在所述腔体中央的通孔,所述通孔位于镜片的正下方,所述斜向出气口设置所述通孔的侧壁上。

3.根据权利要求2所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述气体在距离镜片一定距离处相遇后充满所述通孔。

4.根据权利要求3所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述气体自上而下扩散并充满所述通孔。

5.根据权利要求2所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述腔体远离镜片的一面设置有向所述通孔内部延伸的所述水平挡板。

6.根据权利要求5所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述斜向出气口设置在所述通孔的侧壁靠近所述水平挡板的一侧。

7.根据权利要求2所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述斜向出气口的出气区域的面积总和小于或等于所述斜向出气口所在通孔侧壁的面积的一半。

8.根据权利要求2所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,气体通过所述斜向出气口以一定角度斜向上向所述镜片出射。

9.根据权利要求8所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述斜向出气口的出气角度小于或等于45度。

10.根据权利要求9所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,通过在所述通孔的侧壁上斜向开槽设置所述斜向出气口。

11.根据权利要求9所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述通孔的侧壁呈坡面设置,所述斜向出气口垂直于所述通孔的侧壁设置。

12.根据权利要求9所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述通孔的侧壁呈坡面设置,并通过在呈坡面设置的侧壁上斜向开槽设置所述斜向出气口。

13.根据权利要求2所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,通过均匀孔板、阵列栅格板或喷嘴结构在所述通孔的侧壁上设置所述斜向出气口。

14.根据权利要求2所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述进气口均匀分布。

15.根据权利要求2所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述斜向出气口对称分布。

16.根据权利要求2所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,还包括抽排单元,所述抽排单元设置在所述腔体远离镜片的一面。

17.根据权利要求16所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述抽排单元包括抽排腔体、均匀分布在所述抽排腔体上的抽气口及与所述抽排腔体连通的排气通道。

18.根据权利要求17所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述抽排腔体为环形腔体,所述抽排腔体的内径大于镜片直径。

19.根据权利要求17所述的镜片底部气帘防护装置,其特征在于,所述排气通道带有抽排动力。

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