[发明专利]一种半导体激光器光栅外腔光谱合束装置

权利要求书

1.一种半导体激光器光栅外腔光谱合束装置，其特征在于，包括：

多个单管台阶排布合束模块，依次呈扇形排布，用于发出快轴慢轴方向互换的第一合束光束；各所述单管台阶排布合束模块包括多个台阶排布子模块，所述多个台阶排布子模块用于沿出射光的快轴方向进行光束合束，构成所述第一合束光束；

衍射光栅，用于接收多个所述单管台阶排布合束模块发出的所述第一合束光束，并以相同的衍射角衍射输出；

外腔镜，用于透射一部分所述衍射光栅输出的光束，并原路反射另一部分所述衍射光栅输出的光束，生成反馈光束；

各所述台阶排布子模块接收所述反馈光束，并根据所述反馈光束确定激光波长。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器光栅外腔光谱合束装置，其特征在于，所述台阶排布子模块包括：

半导体激光器单管芯片，用于发出初始光束；

快轴准直镜，用于调整所述初始光束在快轴方向的发散角，输出第一调整光束；

慢轴准直镜，用于调整所述第一调整光束在慢轴方向的发散角，输出第二调整光束；

反射镜，用于调整所述第二调整光束的输出角度，输出第三调整光束；

各所述台阶排布子模块在同一平面中沿平行于所述第三调整光束的方向间隔排布，且沿所述第三调整光束的快轴方向呈阶梯状排布，各所述台阶排布子模块的输出光构成所述第一合束光束。

3.根据权利要求1所述的半导体激光器光栅外腔光谱合束装置，其特征在于，还包括：

快轴准直透镜，设置在多个所述单管台阶排布合束模块和所述衍射光栅之间，用于调整多个所述单管台阶排布合束模块发出的第一合束光束的快轴发散角。

4.根据权利要求1所述的半导体激光器光栅外腔光谱合束装置，其特征在于，还包括：

慢轴准直透镜，设置在多个所述单管台阶排布合束模块和所述衍射光栅之间，用于调整多个所述单管台阶排布合束模块发出的第一合束光束的慢轴发散角。

5.根据权利要求1所述的半导体激光器光栅外腔光谱合束装置，其特征在于，还包括：

球面透镜，设置在多个所述单管台阶排布合束模块和所述衍射光栅之间，用于调整多个所述单管台阶排布合束模块发出的第一合束光束的快轴发散角和/或慢轴发散角。

6.根据权利要求1所述的半导体激光器光栅外腔光谱合束装置，其特征在于，还包括：

滤波系统，设置在所述衍射光栅和所述外腔镜之间，用于对所述衍射光栅输出的光束进行滤波。

7.根据权利要求1所述的半导体激光器光栅外腔光谱合束装置，其特征在于，

所述外腔镜的反射率大于或等于1％。