[发明专利]具有垂直结构的晶体管以及电子装置

权利要求书

1.一种电子装置，该电子装置包括：

面板；

驱动电路，该驱动电路被配置为驱动所述面板；以及

晶体管，该晶体管设置在所述面板中，所述晶体管包括：

基板；

栅极，该栅极设置在所述基板上；

第一绝缘膜，该第一绝缘膜设置在所述栅极上；

有源层，该有源层设置在所述第一绝缘膜上，所述有源层包括：

所述有源层的第一部分，所述有源层的所述第一部分与所述栅极的顶表面交叠；

所述有源层的第二部分，所述有源层的所述第二部分从所述第一部分延伸，沿所述栅极的侧表面设置并且包括沟道区域，其中，所述沟道区域设置为与所述基板不平行；以及

所述有源层的第三部分，所述有源层的所述第三部分从所述有源层的所述第二部分延伸，所述有源层的所述第三部分设置在所述第一绝缘膜的不与所述栅极交叠的一部分上；

第二绝缘膜，该第二绝缘膜设置在所述有源层上；

第一电极，该第一电极设置在所述第二绝缘膜上，所述第一电极与所述有源层的所述第一部分电连接；以及

第二电极，该第二电极设置在所述第二绝缘膜上，所述第二电极与所述有源层的所述第三部分电连接。

2.根据权利要求1所述的电子装置，其中，在与所述有源层的所述第二部分对应的区域中，所述栅极的所述侧表面具有倒锥形形状或者所述栅极具有台阶部分。

3.根据权利要求2所述的电子装置，其中，所述栅极具有单层结构，并且

其中，所述栅极的宽度在远离所述基板的方向上增加。

4.根据权利要求1所述的电子装置，该电子装置还包括：

绝缘图案，该绝缘图案在与所述栅极的所述侧表面对应的区域中被设置在所述有源层与所述第二绝缘膜之间。

5.根据权利要求4所述的电子装置，其中，所述绝缘图案与所述有源层的所述沟道区域交叠。

6.根据权利要求4所述的电子装置，其中，所述绝缘图案的宽度比所述有源层的所述沟道区域的宽度宽。

7.根据权利要求1所述的电子装置，其中，所述栅极具有多层结构。

8.根据权利要求7所述的电子装置，其中，所述栅极包括第一栅极和设置在所述第一栅极上的第二栅极，并且

其中，所述第一栅极的宽度比所述第二栅极的宽度窄。

9.根据权利要求8所述的电子装置，其中，所述第一栅极的材料与所述第二栅极的材料不同。

10.一种具有垂直结构的晶体管，该晶体管包括：

基板；

栅极，该栅极设置在所述基板上；

第一绝缘膜，该第一绝缘膜设置在所述栅极上；

有源层，该有源层设置在所述第一绝缘膜上，所述有源层包括：

所述有源层的第一部分，所述有源层的所述第一部分与所述栅极的顶表面交叠；

所述有源层的第二部分，所述有源层的所述第二部分从所述第一部分延伸，沿所述栅极的侧表面设置并且包括沟道区域，其中，所述垂直结构是所述沟道区域设置为与所述基板不平行的结构；以及

所述有源层的第三部分，所述有源层的所述第三部分从所述第二部分延伸，所述有源层的所述第三部分设置在所述第一绝缘膜的不与所述栅极交叠的一部分上；

第二绝缘膜，该第二绝缘膜设置在所述有源层上；

第一电极，该第一电极设置在所述第二绝缘膜上，所述第一电极与所述有源层的所述第一部分电连接；以及

第二电极，该第二电极设置在所述第二绝缘膜上，所述第二电极与所述有源层的所述第三部分电连接。