[发明专利]电镜样品制作方法及电镜样品制作装置

说明书

本发明提供一种电镜样品制作方法及电镜样品制作装置，该方法包括：首先在待测柔性屏幕上形成截面标记，然后将待测柔性屏幕放置在机械裁剪装置上的样品安装孔内，机械裁剪装置上设置有贯穿至样品安装孔的刀片安装孔，截面标记正对刀片安装孔，之后使刀片在刀片安装孔内向样品安装孔内移动，并沿截面标记切割待测柔性屏幕，以使形成断面；通过在待测柔性屏幕上形成截面标记，再利用机械裁剪装置对待测柔性屏幕进行切割，与液氮脆断的方式相比，通过刀片切割待测柔性屏幕，截面标记正对刀片安装孔，进而沿截面标记形成断面，可以实现对断面位置的控制，断面位置较为准确。

技术领域

本发明涉及柔性屏幕分析的设备技术，尤其涉及一种电镜样品制作方法及电镜样品制作装置。

背景技术

柔性屏幕因其功耗低、可弯曲的特点广泛应用于手机、可穿戴设备等智能电子设备中，且在智能电子设备技术中越来越重要。为了缩短柔性屏幕的研发周期，降低研发的成本，需要将已有的柔性屏幕制作成电镜样品，利用光学显微镜或者扫描电子显微镜对电镜样品进行分析，以获取柔性屏幕的结构和材料特性；因此，如何获得高质量的柔性屏幕的电镜样品，以获取可靠的分析结果成为研究的热点。

相关技术中，通过液氮脆断的方法来获取柔性屏幕的电镜样品。首先，将样品放入液态氮中，由于液态氮的温度极低，柔性屏幕在低温下变脆；随后，用镊子将样品掰断，将掰断后的其中一块柔性屏幕作为电镜样品。

然而，当要对柔性屏幕的固定位置进行分析时，采用上述方法制备电镜样品，柔性屏幕的断面位置不可控，无法获得具有固定位置的电镜样品。

发明内容

本发明实施例提供一种电镜样品制作方法及电镜样品制作装置，以解决制备电镜样品时，柔性屏幕的断面位置不可控，无法获得具有固定位置的电镜样品的技术问题。

一方面，本发明实施例提供一种电镜样品制作方法，包括：在待测柔性屏幕上形成截面标记；将所述待测柔性屏幕放置在机械裁剪装置上的样品安装孔内；所述机械裁剪装置上设置有贯穿至所述样品安装孔的刀片安装孔，所述截面标记正对所述刀片安装孔；使刀片在所述刀片安装孔内向所述样品安装孔内移动，并沿所述截面标记切割所述待测柔性屏幕，以使形成断面。

如上所述的电镜样品制作方法，其中，所述将所述待测柔性屏幕放置在机械裁剪装置上的样品安装孔内之前还包括：用金属膜包裹所述待测柔性屏幕。

如上所述的电镜样品制作方法，其中，所述使刀片在所述刀片安装孔内向样品安装孔内移动，并沿所述截面标记切割所述待测柔性屏幕，以使形成断面之后还包括：通过离子切割装置对所述断面进行修正。

如上所述的电镜样品制作方法，其中，所述通过离子切割装置对所述断面进行修正包括：将切割后的所述待测柔性屏幕放置在所述离子切割装置上，所述断面伸出至所述离子切割装置上的离子束挡板外，且离子束挡板的末端与断面之间具有预设距离；所述离子切割装置产生的离子束射向伸出至所述离子束挡板外的所述待测柔性屏幕。

如上所述的电镜样品制作方法，其中，通过离子切割装置对所述断面进行修正包括：在第一预设时间内，通过第一预设加速电压的离子束对所述断面进行修正；在第二预设时间内，通过第二预设加速电压的离子束对所述断面进行修正；所述第一预设时间早于所述第二预设时间，且所述第一预设加速电压大于所述第二预设加速电压。

另一方面，本发明实施例提供一种电镜样品制作装置，包括：机械裁剪装置，所述机械裁剪装置包括载物台以及刀片，所述载物台的第一表面设置有用于容置待测柔性屏幕的样品安装孔，所述载物台上与所述第一表面相邻的第二表面上设置有贯穿至所述样品安装孔的刀片安装孔；所述刀片设置在所述刀片安装孔内。