[发明专利]一种集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜及其设计方法

权利要求书

1.一种集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜，其特征在于：在单臂耦合型微环反射镜的微环波导上添加一个亚波长大小的微结构来构成反射点，激励起反向传播的模式，通过反射点引起背向散射耦合，使得部分光能从输入端口输出。

2.根据权利要求1所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜，其特征在于：所述微结构为圆形、条形、或者断裂型的亚波长结构。

3.根据权利要求2所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜，其特征在于：在1.4um宽，0.2um厚的氮化硅微环波导中央上设置一个圆形的微结构，该微结构的半径小于等于0.3um。

4.根据权利要求3所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜，其特征在于：在1.4um宽，0.2um厚的氮化硅微环波导中央上设置一个圆形的微结构，该微结构的半径等于0.1um。

5.根据权利要求3所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜，其特征在于：在1.4um宽，0.2um厚的氮化硅微环波导中央上设置一个圆形的微结构，该微结构的半径等于0.2um。

6.根据权利要求1所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜，其特征在于：该微结构设在氮化硅平台上，微环波导为跑道型，宽度为1.4um，微环的半径为125um，跑道型微环波导的直波导长度为250um，微环的耦合间距为0.8um，该微结构为圆形，设在跑道型微环波导的直波导上，直径为0.2um。

7.根据权利要求2所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜，其特征在于：在2.8um宽，0.1um厚的氮化硅微环波导上，微环反射镜为半径600um的圆形，微环和波导的耦合间距为0.9um，反射点为条形结构0.5*0.2um。

8.一种根据权利要求1所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜的设计方法，其特征在于：该亚波长大小的微结构通过在波导内进行版图设计，单次曝光刻蚀出来。

9.根据权利要求8所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜的设计方法，其特征在于：通过加热电极对该微环反射镜的反馈波长进行调谐，在芯片的表面生长刻蚀出加热电极，通过改变加热电极的电压来改变加热电极周围局部的温度，热量扩散到波导处相应改变波导的折射率，进而改变微环反射镜的中心波长。

10.根据权利要求8所述的集成外腔窄线宽激光器的微环反射镜的设计方法，其特征在于：通过压光调谐或电光调谐对该微环反射镜的反馈波长进行调谐。