[发明专利]测定装置、测定方法及记录有测定程序的记录介质

权利要求书

1.一种测定装置，其测定片状测定对象物的厚度，其具备：

检测部，其检测第一光强度、第二光强度及第三光强度，

厚度算出部，其使用所述第一光强度、所述第二光强度、及所述第三光强度，计算出所述测定对象物的厚度，

所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过所述测定对象物后的光的强度，

所述第二光强度是使具有第二波长的第二光透过所述测定对象物后的光的强度，该第二波长是所述测定对象物的材料的吸收率比所述第一波长低的波长，

所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过所述测定对象物后的光的强度，该第三波长是所述测定对象物的材料的吸收率比所述第一波长低，且含有流体的所述测定对象物的吸收率比所述第二波长低的波长，

还具备修正值算出部，该修正值算出部基于所述检测部检测到的所述第一光强度、所述第二光强度、及所述第三光强度，计算出降低所述测定对象物所含的所述流体对光吸收的影响的修正值，

所述厚度算出部使用由所述修正值算出部计算出的所述修正值，计算出所述测定对象物的厚度，

所述修正值算出部基于在所述测定对象物所含的所述流体的量不同的多种情况下的所述第一光强度、所述第二光强度、及所述第三光强度，计算出修正系数，使用所算出的所述修正系数，计算出所述修正值，

所述修正值算出部使用数学式3，计算出所述修正系数，然后将所算出的所述修正系数代入数学式2，计算出所述修正值，

【数学式3】

其中，在数学式3中，使所述测定对象物所含的所述流体的量发生变化之前的所述第一光的一次第一透过率、所述第二光的一次第二透过率、及所述第三光的一次第三透过率分别是T₁₁、T₂₁、T₃₁，使所述测定对象物所含的所述流体的量发生变化之后的所述第一光的二次第一透过率、所述第二光的二次第二透过率、及所述第三光的二次第三透过率分别是T₁₂、T₂₂、T₃₂，α₁及α₂是所述修正系数，α₁+α₂＝1，

【数学式2】

其中，在数学式2中，所述第一光的第一透过率、所述第二光的第二透过率、及所述第三光的第三透过率分别是T₁、T₂、T₃，T_c是所述修正值。

2.如权利要求1所述的测定装置，其中，

所述流体为水分。

3.如权利要求2所述的测定装置，其中，

还具备存储部，该存储部预先存储修正系数，

所述修正值算出部使用从所述存储部取得的所述修正系数，计算出所述修正值。

4.如权利要求2或3所述的测定装置，其中，

所述修正值算出部基于所述第一光强度，计算出使所述第一光透过所述测定对象物后的光的第一透过率，基于所述第二光强度，计算出使所述第二光透过所述测定对象物后的光的第二透过率，基于所述第三光强度，计算出使所述第三光透过所述测定对象物后的光的第三透过率，使用所算出的所述第一透过率、所述第二透过率、及所述第三透过率，计算出所述修正值。

5.如权利要求2或3所述的测定装置，其中，

所述检测部检测第四光强度，该第四光强度是使具有第四波长的第四光透过所述测定对象物后的光的强度，该第四波长是所述测定对象物的材料的吸收率比所述第一波长低，且含有流体的所述测定对象物的吸收率比所述第二波长低，且与所述第三波长不同的波长，

所述修正值算出部基于所述检测部检测到的所述第一光强度、所述第二光强度、所述第三光强度、及所述第四光强度，计算出降低所述测定对象物所含的所述流体对光吸收的影响、及所述测定对象物的材料对光散射的波长依赖性的影响那样的所述修正值。

6.如权利要求1～3中任一项所述的测定装置，其中，

所述第二波长时的所述流体的吸光度为所述第三波长时的所述流体的吸光度的2倍以上。