[发明专利]一种承重门可调节铰链装置

说明书

本发明公开了一种承重门可调节铰链装置，铰链固定座和箱体联接固定不动，铰链垫板和门板联接，铰链固定座和转轴配合处镶有铜套，在铰链连接板和铰链固定座之间左右两侧分别装有垫片各两件，铰链连接板外侧分别用螺钉固定安装挡板，其中挡板左右两个螺钉孔通过螺钉和铰链连接板联接，上下两个螺钉孔和转轴联接，调整轴左右各一件分别将左上铰链、铰链连接板和右上铰链联接，在左上铰链、右上铰链上面用螺钉固定在铰链挡板上，第一紧定螺钉顶紧调整轴，第二紧定螺钉四个通过铰链连接板上的螺纹孔顶紧上铰链挡板。本新型可以实时调整紧定螺钉，调节门板倾斜角度，使其和箱体密封面平行，避免真空室漏气，通过门板锁紧装置实现门板开合方便。

技术领域

本发明涉及磁控溅射镀膜机技术领域，尤其涉及一种承重门可调节铰链装置。

背景技术

在磁控溅射镀膜机中阴极经常需要放下来进行技术参数调整或者维护保养，门板在使用过程中不可避免的发生轻微变形或者移位，重新关闭后会发生门板和箱体不平行的情况，从而造成门板和箱体的密封不严，导致真空室漏气，现有技术中往往需要将门板拆下，重新定位后装上，甚至更换发生门板，不仅工作劳动量大，而且影响生产效率，同时因为门板关闭箱体时，需要锁紧关闭，避免真空室气体压力将门板顶开，所以现有技术中，往往门板关闭箱体后，用螺栓锁紧，这样门板在开合过程中，就比较费时费力，因此如何解决上述问题成为了现有技术领域的攻关课题。

发明内容

为了克服现有技术的上述缺点，本发明提供了一种承重门可调节铰链装置，本装置可以实时调整紧定螺钉，调节门板倾斜角度，使其和箱体密封面平行，从而避免真空室漏气，同时门板开合方便快捷。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种承重门可调节铰链装置，包括铰链固定座、铰链垫板及门锁装置，所述铰链固定座一端和箱体联接固定不动，另一端分别与转轴、铰链连接板配合联接，所述铰链连接板和铰链固定座之间左右两侧分别装有垫片各两件，且铰链连接板外侧设有挡板，所述挡板设有两个左右螺钉孔和两个上下螺钉孔，螺钉穿过左右螺钉孔使挡板和铰链连接板联接，螺钉穿过上下螺钉孔使挡板和转轴联接；所述铰链垫板一面和门板联接， 另一面和上铰链联接，所述上铰链包括左上铰链、右上铰链，所述铰链连接板上部与调整轴、上铰链挡板联接，所述调整轴左右各一件分别将左上铰链、右上铰链、铰链连接板联接，在左上铰链、右上铰链上面用螺钉固定在上铰链挡板上，所述左上铰链、右上铰链上分别设有两个第一紧定螺钉和四个第二紧定螺钉，所述第一紧定螺钉顶紧调整轴使其不会发生转动，所述第二紧定螺钉通过铰链连接板上的螺纹孔顶紧上铰链挡板，所述第二紧定螺钉分别调整顶紧上铰链挡板的力度来调节左上铰链和右上铰链的倾斜角度，以达到门板和箱体之间平行，所述门板和箱体之间平行后，关上门板，通过门板锁紧装置将门板和箱体锁紧，防止真空室内气体压力将门板顶开。

进一步的，所述铰链固定座和转轴配合处镶有铜套，所述铜套设在铰链固定座的内部。

进一步的，所述门板锁紧装置为两个，在箱体上上下对称设置，保证对门板上下锁紧力一致，防止门板变形。

进一步的，所述门板锁紧装置包括气缸、活塞杆、力臂、拐臂及滚动轴承，所述气缸铰接在箱体上，所述气缸连接活塞杆，所述活塞杆连接力臂，所述力臂与拐臂铰接，所述拐臂下部铰接固定座，其一端连接滚动轴承，所述门板上设有与滚动轴承配合的凹槽。所述活塞杆伸开时通过力臂顶着拐臂，使拐臂向门板方向移动，从而使滚动轴承沿着凹槽滚动前进，达到压紧门板的目的，滚动到位后，滚动轴承就将门板压紧在箱体上，就固定的很牢固，这样门板在受到气体压力的作用下，也不会在气体压力作用下打开。