[发明专利]一种亚氧化钛电极的制备方法在审
| 申请号： | 201911062522.3 | 申请日： | 2019-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN110745911A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 杨学兵;郭炜;陈威 | 申请（专利权）人： | 江西省科学院应用物理研究所 |
| 主分类号： | C02F1/461 | 分类号： | C02F1/461;C02F101/34 |
| 代理公司： | 36122 南昌市平凡知识产权代理事务所 | 代理人： | 姚伯川 |
| 地址： | 330012 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 电极 亚氧化钛 电化学氧化 还原法 工艺参数控制 模拟有机废水 工艺可控性 工艺稳定性 表面制备 工艺步骤 制备工艺 钛片表面 沉积法 降解 钛基 还原 测试 清洁 | ||
1.一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述方法采用微波等离子体沉积法，在钛基底表面制备TiO2层；再通过微波等离子体还原法将TiO2层还原为Ti4O7层，制得Ti4O7电极。
2.根据权利要求1所述的一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述方法步骤如下：
（1）钛片表面清洁，将钛片裁剪后在砂纸表面研磨5min，再将钛片放入无水乙醇中超声清洗30min，后将钛片在50℃真空干燥2h；
（2）TiO2层的制备，采用沉积法在钛基底表面制备TiO2层，将钛片放入反应室中，利用真空泵抽真空至10Pa；再通入反应气体，反应气体包括氩气、氧气和钛源；在合适的微波功率、氩气流量、氧气流量、钛源蒸气流量和气压条件下，反应3-4h，在钛基底表面制备TiO2层；
（3）Ti4O7层的制备，采用还原法将TiO2层还原为Ti4O7层，反应室不变，利用机械真空泵抽真空至10Pa，后通入反应气体，反应气体为氢气，在合适的微波功率、氢气流量和气压条件下，反应25-35min；将TiO2层还原为Ti4O7层，制得Ti4O7电极。
3.根据权利要求2所述的一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中钛源为四氯化钛；钛源是通过氩气携带进入反应室中。
4.根据权利要求2所述的一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中的微波功率为300-400W。
5.根据权利要求2所述的一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中的微波功率为600-700W，。
6.根据权利要求2所述的一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中沉积法为微波等离子体沉积法。
7.根据权利要求2所述的一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中还原法为微波等离子体还原法。
8.根据权利要求2所述的一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中氩气流量为400-600mL/min，氧气流量为30-50mL/min，钛源蒸气流量为1-3mL/min，气压为20-30kPa。
9.根据权利要求2所述的一种亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中氢气流量为130-150mL/min，气压为14-16kPa。
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