[发明专利]一种太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机在审
申请号: | 201911063680.0 | 申请日: | 2019-11-04 |
公开(公告)号: | CN110707180A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 王会;刘品德;朱速锋;戴向荣 | 申请(专利权)人: | 苏州南北深科智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 郝彩华 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 氢钝化 固化炉 传输装置 氢钝化处理 固化处理 一体机 固化 搬运 工艺步骤 工艺过程 连续设置 生产效率 顺序设置 传输 出片 进片 炉中 损伤 穿过 | ||
本发明公开了一种太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机,包括机架、用于对太阳能电池进行固化处理的固化炉、用于对太阳能电池进行氢钝化处理的氢钝化炉和用于传输太阳能电池的传输装置,固化炉和氢钝化炉顺序设置在机架上,固化炉出片的一端部与氢钝化炉进片的一端部相邻,传输装置连续设置在机架上,且传输装置分别穿过固化炉和氢钝化炉。该太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机结构简单,太阳能电池在固化炉中完成固化处理后可直接通过传输装置传输到氢钝化炉中进行氢钝化处理,该工艺过程连续,省去了搬运太阳能电池的工艺步骤,在提高生产效率的同时可避免搬运太阳能电池所造成的损伤。
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产技术领域,具体涉及一种太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机。
背景技术
太阳能电池制造后需要通过固化炉进行烘干固化处理,然后通过氢钝化炉进行氢钝化处理。现有技术中,对太阳能电池进行固化处理的固化炉和进行氢钝化处理的氢钝化炉是各自独立设置的,这样,在太阳能电池在固化炉中完成固化处理后,需要通过搬运机构将太阳能电池搬运到氢钝化炉中进行氢钝化处理。该工艺步骤复杂,不能实现连续生产,生产效率低;而且,太阳能电池在搬运过程中容易出现损伤,从而影响太阳能电池的质量。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术中的问题,提供一种改进的太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:
一种太阳能电池HIT或HJT工艺固化、氢钝化一体机,包括机架、用于对太阳能电池进行固化处理的固化炉、用于对太阳能电池进行氢钝化处理的氢钝化炉和用于传输太阳能电池的传输装置,所述固化炉和所述氢钝化炉顺序设置在所述机架上,所述固化炉出片的一端部与所述氢钝化炉进片的一端部相邻,所述传输装置连续设置在所述机架上,且所述传输装置分别穿过所述固化炉和所述氢钝化炉。
优选地,所述氢钝化炉包括光学模组、电学模组和用于对所述氢钝化炉内部的温度进行控制的温控系统,所述光学模组、所述电学模组和所述温控系统均设置在所述机架上,所述光学模组和所述电学模组通过线路连接,所述温控系统包括设置在所述机架上且位于所述光学模组的底部的控制箱体、设置在所述控制箱体中的加热单元和设置在所述控制箱体上的冷却单元。
进一步地,所述光学模组包括设置在所述机架上的光源箱体、设置在所述光源箱体上的多个可独立控制的光源装置和罩设在所述光源装置的发光表面外的多个聚光透镜装置,所述光源装置提供至少1个单位光照强度。
更进一步地,所述光学模组还包括用于对所述光源装置的发光背侧进行冷却的第一冷却装置和/或用于对所述光源装置的发光正面进行冷却的第二冷却装置,所述第一冷却装置为水冷装置,所述第二冷却装置为风冷装置。
优选地,所述固化炉包括用于对太阳能电池进行加热固化的加热模组、设置在所述加热模组的顶部的排废装置和燃烧塔,所述加热模组设置在所述机架上,所述加热模组的顶部设置有排废口,所述燃烧塔和所述排废装置分别与不同的所述排废口连接,所述加热模组具有加热腔室,所述加热腔室包括多个并排设置的单元加热腔室,各个所述单元加热腔室的温度能够独立控制,所述传输装置贯穿各个所述单元加热腔室。
进一步地,所述加热模组包括上加热模组和下加热模组,所述上加热模组和所述下加热模组均能够上下升降地设置在所述机架上。
优选地,所述传输装置包括能够转动地设置在所述机架上的多个传输辊轮和设置在所述机架上用于驱动所述传输辊轮转动的驱动装置,多个所述传输辊轮相平行设置,所述驱动装置包括能够转动地设置在所述机架上的传动轴、固定设置在所述传动轴上的主动轮、固定设置在各个所述传输辊轮的一端部的从动轮和用于驱动所述传动轴转动的电机,所述驱动装置还包括设置在所述从动轮和所述主动轮之间、当所述主动轮转动时驱动所述从动轮转动的传动机构,所述传动机构为磁力传动机构、皮带传动机构或齿轮传动机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的