[发明专利]红外硫系玻璃镜片及其制备方法在审
申请号: | 201911064186.6 | 申请日: | 2019-11-04 |
公开(公告)号: | CN110879430A | 公开(公告)日: | 2020-03-13 |
发明(设计)人: | 尹士平;朱刘;刘克武;郭晨光 | 申请(专利权)人: | 广东先导先进材料股份有限公司 |
主分类号: | G02B1/14 | 分类号: | G02B1/14;G02B1/18 |
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地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 红外 玻璃 镜片 及其 制备 方法 | ||
1.一种红外硫系玻璃镜片,其特征在于:其包括玻璃基片和镀于玻璃基片表面的表面膜层,所述表面膜层包括由内至外依次设置的MgO镀层、第一Ge镀层、第一ZnS镀层、第二Ge镀层、第二ZnS镀层、超硬防水层。
2.根据权利要求1 所述的红外硫系玻璃镜片,其特征在于:MgO镀层的厚度为5~50nm。
3.根据权利要求1所述的红外硫系玻璃镜片,其特征在于:第一Ge镀层的厚度为 157~295nm。
4.根据权利要求1所述的红外硫系玻璃镜片,其特征在于:第一ZnS镀层的厚度为 155~234nm。
5.根据权利要求1 所述的红外硫系玻璃镜片,其特征在于:第二Ge镀层的厚度为425~965nm。
6.根据权利要求1 所述的红外硫系玻璃镜片,其特征在于:第二ZnS镀层的厚度为1046~1122nm。
7.根据权利要求1 所述的红外硫系玻璃镜片,其特征在于:超硬防水层的厚度为 5~30nm。
8.一种红外硫系玻璃镜片的制备方法,其特征在于:其用于制备权利要求1-7任一所述的红外硫系玻璃镜片,该制备方法包括如下步骤:首先将玻璃基片置于镀膜机中,将镀膜机依次进行抽真空、烘烤加热、离子清洗后,依次在玻璃基片表面蒸镀MgO镀层、第一Ge镀层、第一ZnS镀层、第二Ge镀层、第二ZnS镀层,待玻璃基片温度降至50℃时,再镀超硬防水层。
9.根据权利要求8 所述的红外硫系玻璃镜片的制备方法,其特征在于:蒸镀前,烘烤加热的温度为50~100℃,烘烤加热的时间为10~30min。
10.根据权利要求8 所述的红外硫系玻璃镜片的制备方法,其特征在于:离子清洗所用的离子源为考夫曼型离子源,离子源的屏极电压为350V~600V;离子源的加速极电压为330V~500V;离子源的离子束流为150~230mA;离子清洗的时间为5~10min。
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