[发明专利]一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法

权利要求书

1.一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法，其特征在于：所述选择性化学沉银是指在DBC图形形成后，通过二次干膜把需要沉银的区域显现出来，不需要沉银的区域用干膜覆盖住；

所述二次干膜包含如下步骤：第二次干膜，曝光，显影，沉银和去膜；在所述第二次干膜步骤后，曝光步骤前，对间距开窗；所述间距开窗是指：所述间距开窗是指：若两相邻铜箔图形之间的间距上的干膜存在孔隙，则开窗；若两相邻铜箔图形之间的间距上的干膜处于完全封闭状态，则不开窗。

2.根据权利要求1所述的一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法，其特征在于：所述间距开窗的开窗宽度a＝(1/3～1/2)b，b为间距宽度；开窗长度沿整个间距长度。

3.根据权利要求1所述的一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法，其特征在于：所述沉银的厚度为0.3～0.6微米。

4.根据权利要求1所述的一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法，其特征在于：在二次干膜中的去膜步骤后，添加如下步骤：烘干→除油→微蚀→烘干→抗氧化→烘干→切割→清洁→异丙醇浸泡→烘干。

5.根据权利要求4所述的一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法，其特征在于：所述微蚀工艺微蚀量管控在0.5-1微米。

6.根据权利要求1所述的一种DBC基板选择性化学沉银的表面处理方法，其特征在于：所述DBC图形形成的方法，包含如下步骤：第一次干膜，曝光，显影，蚀刻和去膜。