[发明专利]可变光圈的制作方法

权利要求书

1.一种可变光圈的制作方法，其特征在于，所述可变光圈的制作方法包括：

制造气压室以形成第一结构，所述第一结构包括隔绝所述气压室与外界的弹性薄膜；

在所述弹性薄膜上设置储液腔以形成第二结构，所述储液腔与所述气压室位于所述弹性薄膜的相背的两侧，所述第二结构包括形成所述储液腔的储液腔侧壁和储液腔顶壁；及

在所述第二结构上制造第一通道及第二通道，所述第一通道贯穿所述储液腔顶壁、所述储液腔侧壁及所述弹性薄膜，连通所述气压室与外界，所述第二通道贯穿所述储液腔顶壁连通所述储液腔及外界；

其中，所述制造气压室以形成第一结构的步骤包括：

提供第一基底；

在所述第一基底上制造模芯；

在所述第一基底上制造覆盖所述模芯的气压室壁；

去除所述模芯及所述第一基底，所述气压室壁形成所述气压室；

提供第二基底；

在所述第二基底上制造所述弹性薄膜；及

结合所述气压室壁及所述弹性薄膜以得到所述第一结构；

所述在所述弹性薄膜上设置储液腔以形成第二结构的步骤包括：

去除所述第二基底；

在所述弹性薄膜远离所述气压室的一侧设置中空的储液腔侧壁；及

在所述储液腔侧壁上设置储液腔顶壁以形成所述第二结构，所述储液腔侧壁、所述储液腔顶壁及所述弹性薄膜共同形成所述储液腔。

2.根据权利要求1所述的可变光圈的制作方法，其特征在于，所述在所述第一基底上制造模芯的步骤包括：

在所述第一基底上涂光刻胶；

通过紫外曝光技术在所述光刻胶上刻出气压室区域；及

去除所述气压室区域以外的所述光刻胶，以形成所述模芯。

3.根据权利要求1所述的可变光圈的制作方法，其特征在于，所述在所述第一基底上制造覆盖所述模芯的气压室壁的步骤包括：

在所述模芯上旋涂液态材料，所述液态材料能够覆盖所述模芯；及

固化旋涂完毕后的所述液态材料，以形成所述气压室壁。

4.根据权利要求2所述的可变光圈的制作方法，其特征在于，所述去除所述模芯及所述第一基底的步骤包括：

去除所述模芯内的所述的光刻胶；及

去除所述第一基底。

5.根据权利要求1所述的可变光圈的制作方法，其特征在于，所述可变光圈的制作方法还包括：

向所述储液腔注入吸光溶液，所述储液腔内填充满所述吸光溶液。