[发明专利]气密装置

说明书

本发明提供一种无需使用密封机构即可将腔室等气体容器内保持为气密的气密装置。具备配置于填充气体的气体容器外且与气体容器一同形成气密空间的马达容器及旋转轴的马达安装于气体容器。马达容器包括分隔气体容器内的空间与马达容器内的空间的分隔部分。旋转轴从马达容器内穿过设置于分隔部分的第1孔而延伸至气体容器内。分隔部分除了设置有第1孔以外，还设置有使气体在马达容器内的空间与气体容器内的空间之间流通的第2孔。

本申请主张基于2018年12月14日申请的日本专利申请第2018-234718号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种气密装置。

背景技术

放电激励二氧化碳激光器等气体激光装置具备容纳放电电极、光学谐振腔、激光气体等的腔室。在该腔室内配置鼓风机，使激光气体循环。用于驱动鼓风机的马达配置于腔室外，马达的旋转轴从腔室外插入到腔室内部。为了维持腔室内的气密性，在旋转轴所穿过的孔中设置有密封机构(例如，专利文献1)。

在专利文献1中记载的激光气体装置中，马达壳体(马达容器)内充满有惰性气体，并且马达壳体内的压力设定为比腔室内的压力更高。作为密封机构，例如使用由耐摩性优异的PTFE等制成的唇形密封件。即使密封机构出现密封不良，由于马达壳体内被设定为比腔室内更高的压力，因此也不会出现激光气体从腔室内泄漏至外部的情况。

专利文献1：日本特开平9-283821号公报

若密封机构产生不良，则马达壳体内的气体会流入腔室，因此会导致腔室内的激光气体的成分发生变化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种无需使用密封机构即可将腔室等气体容器内保持为气密的气密装置。

根据本发明的一种观点，提供一种气密装置，其具有：

气体容器，其填充有气体；以及

马达，其具备配置于所述气体容器外且与所述气体容器一同形成气密空间的马达容器及旋转轴，

所述马达容器包括分隔所述气体容器内的空间与所述马达容器内的空间的分隔部分，

所述旋转轴从所述马达容器内穿过设置于所述分隔部分的第1孔而延伸至所述气体容器内，所述分隔部分除了设置有所述第1孔以外，还设置有使气体在所述马达容器内的空间与所述气体容器内的空间之间流通的第2孔。

根据本发明的另一观点，提供一种气密装置，其具有：

气体容器，其填充有气体；

马达，其具备配置于所述气体容器外且与所述气体容器一同形成气密空间的马达容器及旋转轴；以及

轴承，其将所述旋转轴支承为相对于所述马达容器能够旋转，

所述马达容器具备分隔部分及气体路径，

所述分隔部分分隔所述马达容器内的空间与所述气体容器内的空间并且设置有供所述旋转轴通过的第1孔，

所述气体路径使气体不通过所述轴承也可以在所述马达容器内的空间与所述气体容器内的空间之间流通。

由于通过气体容器与马达容器形成气密空间，因此无需将旋转轴所穿过的第1孔气密地密封即可确保气体容器内的空间的气密性。

若在马达容器内的空间与气体容器内的空间之间设置未通过轴承也可以使气体流通的气体路径，则通过轴承的气体的流量变少，因此流速也会降低。因此，能够抑制因气体流过轴承而产生的轴承的劣化。

附图说明

图1是基于实施例的气密装置的概略剖视图。

图2是从分隔部分侧观察基于实施例的气密装置的马达时的立体图。