[发明专利]电子显微镜和图像处理方法

权利要求书

1.一种电子显微镜，其特征在于，包含：

电子源，其发射电子束；

试料载台，其用于使试料移动；

光学系统，其将上述电子束照射到上述试料；

第1检测器，其对由于上述电子束照射到上述试料而从上述试料发射的电子或者透射过上述试料的电子进行检测；

第2检测器，其对由于上述电子束照射到上述试料而从上述试料发射的信号进行检测；以及

处理部，其基于上述第1检测器的输出信号和上述第2检测器的输出信号，生成表示上述试料的三维的元素的分布的三维元素图，

上述处理部进行：

基于上述第1检测器的输出信号生成电子显微镜像的处理；

基于上述电子显微镜像生成上述试料的三维图像的处理；

基于上述第2检测器的输出信号生成表示上述试料的二维的元素的分布的二维元素图的处理；以及

将上述二维元素图投影到上述三维图像来生成上述三维元素图的处理，

上述处理部，

对上述试料载台停止了移动进行探测，从探测到上述试料载台停止了移动的时点起，开始进行上述二维元素图的生成，将所生成的上述二维元素图投影到上述三维图像来生成上述三维元素图，

在上述试料载台的移动中，将收集到的上述第2检测器的输出信号的数据废弃，

从上述试料载台停止了移动的时点起，利用所收集的上述数据，开始上述二维元素图的生成。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜，

在生成上述二维元素图的处理中，生成多个上述二维元素图，

在生成上述三维元素图的处理中，将多个上述二维元素图投影到上述三维图像。

3.根据权利要求2所述的电子显微镜，

在生成上述二维元素图的处理中，使构成上述二维元素图的像素的色调与上述元素的种类对应，使构成上述二维元素图的像素的辉度与上述元素的信号强度对应。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的电子显微镜，

上述处理部

当在上述三维元素图中指定了任意的截面的情况下，进行生成坐标图的处理，该坐标图包含上述截面中的上述元素的信号强度的轮廓、以及上述截面中的上述试料的高度的轮廓。

5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的电子显微镜，

上述信号是特征X射线。

6.一种图像处理方法，是电子显微镜中的图像处理方法，上述电子显微镜包含：第1检测器，其对由于电子束照射到试料而从上述试料发射的电子或者透射过上述试料的电子进行检测；第2检测器，其对由于上述电子束照射到上述试料而从上述试料发射的信号进行检测；以及试料载台，其用于使试料移动，上述图像处理方法的特征在于，包含：

基于上述第1检测器的输出信号生成电子显微镜像的工序；

基于上述电子显微镜像生成上述试料的三维图像的工序；

基于上述第2检测器的输出信号生成表示上述试料的二维的元素的分布的二维元素图的工序；以及

将上述二维元素图投影到上述三维图像来生成表示上述试料的三维的元素的分布的三维元素图的工序，

对上述试料载台停止了移动进行探测，从探测到上述试料载台停止了移动的时点起，开始进行上述二维元素图的生成，将所生成的上述二维元素图投影到上述三维图像来生成上述三维元素图，

在上述试料载台的移动中，将收集到的上述第2检测器的输出信号的数据废弃，

从上述试料载台停止了移动的时点起，利用所收集的上述数据，开始上述二维元素图的生成。