[发明专利]立型可填充的二氯硅烷容器

说明书

本发明公开了一种立型可填充的二氯硅烷容器，其包括有：一容器本体呈圆桶状并形成有一环圈部、一圆弧底部及一圆弧顶部，该圆弧顶部于四个对角皆设有一吊耳，一座板对称开设有两堆高机插设孔，且该座板以四支撑杆固定于该容器本体而形成有呈开放状的一加热空间，一作动阀组以一圆盘固定于圆弧顶部且固定有一第一阀管、一第二阀管、一备用阀管及一气动阀，借由该吊耳与该堆高机插设孔的四角对称结构，让该容器本体能稳定保持直立状而进行搬运，再借由开放状的该加热空间，使二氯硅烷(SiH₂Cl₂)能通过加热方式气化，进而在不需要倾倒该容器本体状态下重新装填二氯硅烷(SiH₂Cl₂)液体，以使二氯硅烷容器具有重复使用与提高安全性的功效。

技术领域

本发明是有关于一种化学溶液储存容器，尤其是指一种兼具使用安全性与重复填装使用的立型可填充的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)容器。

背景技术

二氯硅烷(缩写DCS)，是一种无机化合物，化学式为H₂SiCl₂，二氯硅烷可以用来做微电子里的半导体硅层的起始物料，其优点是它在较低温度可以分解，并且有较高的硅晶体生长速率，由于二氯硅烷是一种化学性质活泼的气体，在空气中可以迅速水解并自燃，因此接触空气会有产生爆炸的风险，该二氯硅烷的毒性也很大，利用它的任何实验都需要有完善的保护性措施，是故在储存容器的使用、搬运与填装皆需要相当注重，导致大多数用于储存二氯硅烷的容器皆会采用少量瓶装，借此降低其风险与损害程度，但小型瓶装会增加搬运、换装的次数，导致无法有效的提高安全性，是故，本创作为克服上述缺点，进一步改良大型储存容器，使400公升左右的二氯硅烷容器能兼具使用安全性与方便重新填装的功能。

有鉴于此，本发明人于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述的目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的本发明。

发明内容

本发明所欲解决的技术问题在于针对现有技术存在的上述缺失，提供一种立型可填充的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)容器。

本发明提供的立型可填充的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)容器包括：一容器本体呈圆桶状并形成有一环圈部，且该环圈部向一端延伸有一圆弧底部，而该环圈部向另一端延伸有一圆弧顶部，该环圈部的直径介于750mm至860mm之间，且该圆弧底部至该圆弧顶部之间的最长距离介于900mm至1000mm之间，该容器本体能容纳360公升至440公升之间的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)液体，该圆弧顶部于四个对角皆设有一吊耳，一座板对称开设有两堆高机插设孔，且该座板呈十字相对状而竖立有四支撑杆，该座板以该四支撑杆连接固定于该容器本体的环圈部，让该圆弧底部与该座板之间形成有呈开放状的一加热空间，一作动阀组以一圆盘固定于该圆弧顶部，且该圆盘上固定有一第一阀管、一第二阀管、一备用阀管及一气动阀，该第一阀管相通该容器本体以用于灌入二氯硅烷(SiH₂Cl₂)液体，该第二阀管相通该容器本体以用于输出二氯硅烷(SiH₂Cl₂)气体，该备用阀管相通该容器本体以用于取代该第一阀管、该第二阀管或该气动阀，该气动阀相通该容器本体以用于控制二氯硅烷(SiH₂Cl₂)进出该容器本体的流量大小，借由四个该吊耳与两个该堆高机插设孔的四角对称结构，让该容器本体能稳定保持直立状而进行搬运，再借由开放状的该加热空间，使该容器本体内的二氯硅烷(SiH₂Cl₂)残液能通过加热方式完全气化，进而在不需要倾倒该容器本体状态下，由该第一阀管处重新装填二氯硅烷(SiH₂Cl₂)液体，以具有重复使用与提高安全性的功效。

其中，该备用阀管组装有一压力表。