[发明专利]一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉

权利要求书

1.一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：从下到上依次设置有基座(1)、晶体生长炉腔体(11)、坩埚(2)、籽晶杆(6)、密封阀(7)、籽晶备用舱腔体(12)、籽晶替换盘(8)、升降机(9)；所述基座(1)一端固定安装在生长炉的外侧最底端，另一端与坩埚(2)底部连接；所述坩埚(2)固定安装在晶体生长炉腔体(11)内侧的底部，坩埚(2)内部装有模具(3)；所述籽晶杆(6)下端连接有籽晶(5)，可下降至模具(3)上方待用，另一端穿过密封阀(7)固定安装在籽晶替换盘(8)上；所述密封阀(7)固定安装在晶体生长炉腔体(11)与籽晶备用舱腔体(12)之间连接端口处；所述籽晶替换盘(8)固定安装在籽晶备用舱腔体(12)的顶部，贯穿设置有多组槽口，所述籽晶杆(6)固定安装在所述槽口内部；所述密封阀(7)设置有一组通孔，贯穿一组籽晶杆(6)；所述升降机(9)连接籽晶替换盘(8)上的籽晶杆(6)，用于多组籽晶杆(6)的升降调整，每一根籽晶杆(6)对应一套升降机(9)，并独立执行升降指令；

所述晶体生长炉腔体(11)与籽晶备用舱腔体(12)的腔体(10)为不锈钢腔体，内部均设置有循环水冷却装置；

所述晶体生长炉腔体(11)还设置有生长腔炉门和观察窗，观察窗口用于实时监控晶体生产过程；

所述籽晶杆(6)为钼籽晶杆，长度设置为75-105cm，一组籽晶杆(6)设置在晶体生长炉腔体(11)内，其他多组籽晶杆(6)设置在籽晶备用舱腔体(12)内；

还包括单晶(4)，生长在籽晶(5)前端，一组单晶(4)生长时正对放置在模具(3)上方，其他组生长的单晶(4)活动放置在籽晶备用舱腔体(12)内；

晶体生长炉腔体(11)内部充有惰性气体，籽晶备用舱腔体(12)包括有充放气装置、舱门，充放气装置用于内部其他的充气、放气；舱门用于取出生长完成的单晶或更换籽晶；

所述模具(3)设有狭缝，模具(3)设置在坩埚(2)中，两者组成熔体供料系统，坩埚(2)中熔体根据毛细作用，从模具(3)中的狭缝向上攀爬，直至爬出模具(3)口，在与籽晶(5)接触后形成晶体单晶(4)，模具(3)能够使得多片同步生长，能够一次生长10-20长片状单晶(4)。