[发明专利]双面抛光机用衬底片夹具及其抛光方法

权利要求书

1.双面抛光机用衬底片夹具，其特征在于：包括圆形的衬底板，所述衬底板的两个表面对称设置有直径与衬底板一致的放料板，所述放料板上关于中心对称设置有若干个圆形的定位槽，所述定位槽沿衬底板向下两个表面方向一一对应，所述定位槽内同轴放置有用与产品接触的柔性垫片，所述柔性垫片中心同轴贴附有与衬底板相触的垫高贴片，当所述定位槽内放入衬底片后，衬底片的表面高度高于放料板的高度。

2.根据权利要求1所述的双面抛光机用衬底片夹具，其特征在于：所述衬底板为陶瓷板，厚度为2～4mm。

3.根据权利要求1所述的双面抛光机用衬底片夹具，其特征在于：所述放料板为树脂板，厚度为为2～3.5mm。

4.根据权利要求1所述的双面抛光机用衬底片夹具，其特征在于：所述柔性垫片为聚氨酯抛光皮，所述垫高贴片贴于聚氨酯抛光皮的背面。

5.根据权利要求4所述的双面抛光机用衬底片夹具，其特征在于：所述柔性垫片直径与产品一致。

6.根据权利要求1所述的双面抛光机用衬底片夹具，其特征在于：所述垫高贴片直径与柔性垫片的比值为1：10。

7.一种衬底片抛光方法，其特征在于：衬底片放置于权利要求1-6任一项所述的双面抛光机用衬底片夹具内，抛光方法主要包括以下步骤：

（1）垫厚：根据衬底片弯曲度BOW值要求，在柔性垫片背面的中心粘贴所需厚度的垫高贴片，然后将柔性垫片放入定位槽内；

（2）浸湿：将双面抛光机用衬底片夹具进行表面水洗，除去表面粉尘、脏污，然后在纯水中浸泡，取出后确保正反面湿润；

（3）装片：将待抛光的衬底片依次放入定位槽内，按压挤出多余的水，使衬底片吸附在定位槽内；

（4）抛光：将双面抛光机用衬底片夹具放入行星轮内，然后依次放入双面抛光机内，双面研磨机合盘后利用垫高贴片使衬底垫片凸起，启动双面抛光机进行研磨减薄，使弯曲度BOW值达到要求。