[发明专利]一种ESD二极管的版图设计方法有效
| 申请号： | 201911071138.X | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN111046623B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 熊俊;朱敏 | 申请（专利权）人： | 芯创智创新设计服务中心（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人： | 田明;任晓航 |
| 地址： | 315199 浙江省宁波市鄞州区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 esd 二极管 版图 设计 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种ESD二极管的版图设计方法，包括：
在P型衬底上设计一个DNW，在DNW的四周设计一个NW环与DNW连接起来，形成一个大的DNW封闭区域；
再在所述DNW封闭区域中设计NW和PW，在NW的两侧各设计一个PW，所述NW和PW都是浮空的，没有接到任何电位,引导电流通过N+--PW--NW--P+形式的导通路径到地,在NW的上面设计P+注入区，在PW的上面设计N+注入区；
N+注入区和P+注入区之间用STI隔离，N+注入区和P+注入区通过接触孔连接到金属，形成ESD二极管的两个端头P和N。
2.如权利要求1所述的一种ESD二极管的版图设计方法，其特征是：所述NW和PW相互隔开形成独立的区域。
3.如权利要求1所述的一种ESD二极管的版图设计方法，其特征是：所述DNW和NW是相同的注入类型。
4.如权利要求1至3任一项所述的一种ESD二极管的版图设计方法，其特征是：所述DNW和NW是连接在一块的。
5.如权利要求1至3任一项所述的一种ESD二极管的版图设计方法，其特征是：所述NW两侧设计有PW。
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