[发明专利]模块化直线度在线测量装置

权利要求书

1.一种模块化直线度在线测量装置，包括基座（1）和活动设置在基座（1）上部的直线度测量单元，其特征在于，还包括罩体，所述基座（1）的中部设有凸台，凸台的上部设有水平的凸台面（1-1）；所述直线度测量单元的一侧活动设置在凸台面（1-1）和罩体之间，且直线度测量单元与凸台面（1-1）相配合，直线度测量单元的另一侧设置在罩体的外侧；所述罩体设置在基座（1）的上部；

所述直线度测量单元包括电容测微仪（3）和测微仪安装座（4），测微仪安装座（4）的一侧设有开槽孔，电容测微仪（3）设置在开槽孔中；电容测微仪（3）设置在罩体内，且电容测微仪（3）设置在凸台面（1-1）的正上方，电容测微仪（3）与凸台面（1-1）相配合；

基座（1）与机床直线运动轴的固定部件相连接，直线度测量单元与机床的直线运动轴的移动部件相连接，当移动部件直线运动时，移动部件带动直线度测量单元在凸台面（1-1）的上方水平直线滑动。

2.根据权利要求1所述的模块化直线度在线测量装置，其特征在于，所述测微仪安装座（4）的另一侧设有走线孔，电容测微仪（3）的数据传输线通过走线孔引出。

3.根据权利要求2所述的模块化直线度在线测量装置，其特征在于，所述电容测微仪（3）的底面与凸台面（1-1）之间留有间隙。

4.根据权利要求2或3所述的模块化直线度在线测量装置，其特征在于，所述罩体包括前端端盖（10）、后端端盖（17）和外罩（2），所述前端端盖（10）和后端端盖（17）对称固定设置在基座（1）的上部；所述外罩（2）设置在前端端盖（10）和后端端盖（17）的中间，且外罩（2）与基座（1）固定连接；所述测微仪安装座（4）的一侧设置在外罩（2）与凸台面（1-1）之间，测微仪安装座（4）的另一侧设置在外罩（2）的外侧。

5.根据权利要求4所述的模块化直线度在线测量装置，其特征在于，所述外罩（2）的一侧设有凹槽（2-1），且测微仪安装座（4）的中部设置在凹槽（2-1）内；所述凹槽（2-1）的上端面的高度低于凸台面（1-1）的高度。

6.根据权利要求2或3或5任一项所述的模块化直线度在线测量装置，其特征在于，所述测微仪安装座（4）的下方设有侧面密封条（27），且侧面密封条（27）与基座（1）固定连接。

7.根据权利要求6所述的模块化直线度在线测量装置，其特征在于，所述测微仪安装座（4）的远离开槽孔的一端设有沉孔I，且测微仪安装座（4）通过沉孔I与机床直线运动轴的移动部件相连接。

8.根据权利要求1或7所述的模块化直线度在线测量装置，其特征在于，所述基座（1）上设有沉孔II，且基座（1）通过沉孔II与机床直线运动轴的固定部件相连接。