[发明专利]一体化太赫兹产生与聚焦装置及近场太赫兹扫描系统

权利要求书

1.一种一体化太赫兹产生与聚焦装置，其特征在于，包括：太赫兹产生单元、转换单元、聚焦单元和光路管道；所述光路管道包括：水平设置的中间管道、及在所述中间管道的两端分别竖直设置的输入管道和输出管道；

所述太赫兹产生单元用于产生太赫兹波，且固定于所述输入管道的输入端口内；

所述转换单元设置于所述太赫兹产生单元的出光光路上，所述转换单元用于将所述太赫兹波转换为平行光束后，将所述平行光束分束为具有相位差的第一子平行光束和第二子平行光束，且将所述第一子平行光束和所述第二子平行光束均引导出射至所述聚焦单元；其中，所述转换单元包括：设置于所述太赫兹产生单元的出光光路上、且固定于所述输入管道内的凸透镜，所述太赫兹产生单元位于所述凸透镜的焦点处；设置于所述凸透镜的出光光路上、且固定于所述输入管道与所述中间管道转角处的第三反射镜；设置于所述第三反射镜的出光光路上、且固定于所述中间管道中的分束镜；以及，设置于所述分束镜的第一分束光路上、且固定于所述中间管道中的第四反射镜，及设置于所述分束镜的第二分束光路上、且固定于所述中间管道外的相位调节子单元，所述第二分束光路与所述中间管道的光路孔对应；其中，所述第四反射镜用于将所述第一子平行光束反射后引导出射至所述聚焦单元；及所述相位调节子单元及所述相位调节子单元包括：位移器件及设置于所述位移器件上的第五反射镜，其中，所述位移器件带动所述第五反射镜位移，以调节入射至所述第五反射镜的所述第二子平行光束的相位，且所述第五反射镜将所述第二子平行光束反射至所述聚焦单元；所述聚焦单元固定于所述输出管道的输出端口外；

所述聚焦单元用于将所述第一子平行光束和所述第二子平行光束均聚焦至预设位置。

2.根据权利要求1所述的一体化太赫兹产生与聚焦装置，其特征在于，所述一体化太赫兹产生与聚焦装置还包括：设置于所述第三反射镜的出光光路上的滤光镜，所述分束镜设置于所述滤光镜的出光光路上，且所述滤光镜固定于所述中间管道中；

或者，所述一体化太赫兹产生与聚焦装置还包括：设置于所述凸透镜的出光光路上的滤光镜，所述第三反射镜设置于所述滤光镜的出光光路上，且所述滤光镜固定于所述输入管道中。

3.根据权利要求2所述的一体化太赫兹产生与聚焦装置，其特征在于，所述光路管道设置有固定组件用的割缝，其中，所述太赫兹产生单元、凸透镜、第三反射镜、分束镜、第四反射镜和滤光镜均插入相应的割缝中固定。

4.一种一体化太赫兹产生与聚焦装置，其特征在于，包括：太赫兹产生单元、转换单元、聚焦单元和光路管道；所述光路管道包括：水平设置的中间管道、及在所述中间管道的两端分别竖直设置的输入管道和输出管道；

所述太赫兹产生单元用于产生太赫兹波，且固定于所述输入管道的输入端口内；

所述转换单元设置于所述太赫兹产生单元的出光光路上，所述转换单元用于将所述太赫兹波转换为平行光束后，将所述平行光束引导出射至所述聚焦单元；其中，设置于所述太赫兹产生单元的出光光路上、且固定于所述输入管道内的凸透镜，所述太赫兹产生单元位于所述凸透镜的焦点处；设置于所述凸透镜的出光光路上、且固定于所述输入管道与所述中间管道转角处的第一反射镜；设置于所述第一反射镜的出光光路上、且固定于所述输出管道与所述中间管道转角处的第二反射镜；所述聚焦单元设置于所述第二反射镜的出光光路上、且固定于所述输出管道的输出端口外；

所述聚焦单元用于将所述平行光束聚焦至预设位置。

5.根据权利要求4所述的一体化太赫兹产生与聚焦装置，其特征在于，所述一体化太赫兹产生与聚焦装置还包括：设置于所述第一反射镜的出光光路上的滤光镜，所述第二反射镜设置于所述滤光镜的出光光路上，且所述滤光镜固定于所述中间管道中；

或者，所述一体化太赫兹产生与聚焦装置还包括：设置于所述凸透镜的出光光路上的滤光镜，所述第一反射镜设置于所述滤光镜的出光光路上，且所述滤光镜固定于所述输入管道中。

6.根据权利要求5所述的一体化太赫兹产生与聚焦装置，其特征在于，所述光路管道设置有固定组件用的割缝，其中，所述太赫兹产生单元、凸透镜、第一反射镜、第二反射镜和滤光镜均插入相应的割缝中固定。