[发明专利]一种超表面硅基液晶复合空间光调制器

权利要求书

1.一种超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于，包括：

硅基液晶空间光调制器(1)，其用于在接收入射光波后，将其反射的光波偏转一定的角度后进行输出，以完成第一次相位调制；

超表面微纳芯片(2)，其用于接收所述硅基液晶空间光调制器(1)输出的光波，并将接收到的光波按照预设的位相梯度进行透射，以完成第二次相位调制；

所述超表面微纳芯片(2)包括：

介质衬底(21)；

若干超表面微纳共振单元(22)，其设于所述介质衬底(21)靠近所述硅基液晶空间光调制器(1)的一侧，且所有所述超表面微纳共振单元(22)按照预设的位相梯度进行设计，通过超表面微纳共振单元(22)的位相梯度的设计，可以对透射光波的角度进行调控。

2.如权利要求1 所述的超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于，所述超表面微纳共振单元(22)为纳米砖结构。

3.如权利要求2所述的超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于：所有所述超表面微纳共振单元(22)周期性阵列分布。

4.如权利要求1所述的超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于：所述硅基液晶空间光调制器(1)的反射面和所述超表面微纳芯片(2)的透射面呈一定夹角。

5.如权利要求1所述的超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于：第一次相位调制的偏转角度为Δθ1，第二次相位调制的偏转角度为Δθ2，Δθ1Δθ2。

6.如权利要求1所述的超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于：至少部分所述超表面微纳共振单元(22)的尺寸不同。

7.如权利要求1所述的超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于：所述硅基液晶空间光调制器(1)包括装有驱动像素电路的硅基板、带透明电机的玻璃基板和夹于所述硅基板和玻璃基板之间的液晶层。

8.如权利要求7所述的超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于：所述液晶层包括若干液晶像素单元。

9.如权利要求8所述的超表面硅基液晶复合空间光调制器，其特征在于：所有所述液晶像素单元阵列分布。