[发明专利]光扫描装置及其控制方法

权利要求书

1.一种光扫描装置，其使反射镜至少在1个方向上摆动，其特征在于，该光扫描装置具有：

反射镜驱动电路，其包括DA转换器以及放大器，基于数字化的驱动波形数据生成用于驱动上述反射镜的一对驱动信号；

基准波形数据生成部，其生成基准波形数据；以及

偏移设定部，其基于上述放大器的死区和由上述DA转换器产生的具有周期性的积分非线性误差，对上述基准波形数据设定偏移值，由此生成上述驱动波形数据，

上述一对驱动信号由第一驱动信号和在上述第一驱动信号的中间电位反转电位而得到的第二驱动信号构成，

上述反射镜驱动电路通过上述第一驱动信号与上述第二驱动信号的电位差驱动上述反射镜，

上述偏移设定部将上述偏移值设定为比上述放大器的接地电位侧的死区的上限值大，并且使叠加在上述第一驱动信号中的积分非线性误差和叠加在上述第二驱动信号中的积分非线性误差为相同相位的值。

2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

上述第一驱动信号以及上述第二驱动信号是锯齿波，

上述反射镜驱动电路使上述反射镜进行非共振振动。

3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其特征在于，具有：

振角传感器，其检测上述反射镜的上述1个方向的位置；以及

增益设定部，其基于上述振角传感器的检测值设定与上述第一驱动信号以及上述第二驱动信号的振幅对应的增益。

4.根据权利要求3所述的光扫描装置，其特征在于，

上述偏移设定部在将上述积分非线性误差的周期设为M，将上述增益设为G，将上述放大器的接地电位侧的死区的上限值设为Dth，将正的整数设为n的情况下，将满足数学式1以及数学式2的最小的D设定为上述偏移值，

数学式1：

D＝(n×M+M/2－G)/2；

数学式2：

D＞Dth。

5.一种光扫描装置的控制方法，其是光扫描装置的控制方法，上述光扫描装置具有包括DA转换器以及放大器，且基于数字化的驱动波形数据生成用于驱动反射镜的一对驱动信号的反射镜驱动电路，并使上述反射镜至少在1个方向上摆动，其特征在于，

上述控制方法生成基准波形数据，基于上述放大器的死区和由上述DA转换器产生的具有周期性的积分非线性误差，对上述基准波形数据设定偏移值，由此生成上述驱动波形数据，

上述一对驱动信号由第一驱动信号和在上述第一驱动信号的中间电位反转电位而得到的第二驱动信号构成，

上述反射镜驱动电路通过上述第一驱动信号与上述第二驱动信号的电位差驱动上述反射镜，

上述控制方法将上述偏移值设定为比上述放大器的接地电位侧的死区的上限值大，并且使叠加在上述第一驱动信号中的积分非线性误差和叠加在上述第二驱动信号中的积分非线性误差为相同相位的值。