[发明专利]一种使用离子液体调控金属薄膜磁性的方法有效

专利信息
申请号: 201911072269.X 申请日: 2019-11-05
公开(公告)号: CN110983268B 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 张晓慧;周子尧;胡忠强;李春雷 申请(专利权)人: 西安科汇电子科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/18;H01F41/16
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 姚咏华
地址: 710075 陕西省西安市高*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 使用 离子 液体 调控 金属 薄膜 磁性 方法
【权利要求书】:

1.一种使用离子液体调控金属薄膜磁性的方法,其特征在于,包括如下步骤:

S1,薄膜的制备:将选定基底进行预处理后,在其上采用直流磁控溅射法在真空度为1.5x10-7Torr条件下,以30w至50w功率依次沉积4nm Ta、6nm Bi和2nm Ag,获得2 nm Ag /6nm Bi / 4 nm Ta /基底结构;

S2,测试调控体系电化学窗口:借助套筒将聚四氟乙烯测试杆装配上去,在测试杆前端形成电源线正极/离子液体/电源线负极/2 nm Ag / 6 nm Bi / 4 nm Ta / 基底的测试结构,将电源表接到正负极电源线上;

在氮气保护条件下,通过对浸润金属薄膜的咪唑类离子液体施加步长相同的循环电压,电压范围是-4V~+4V,确认未发生化学反应的电压范围为-2.1至+2.3v;

S3,调控金属薄膜磁性:在氮气保护条件下,在电化学窗口内施加1v,2v,0v电压;每次改变电压后保持5分钟;当电压稳定后在维持电压不变的条件下进行磁性测试确认调控效果;

在步骤S1中,基底为二氧化硅或云母;

咪唑类离子液体为EMI-TFSI,Cas号: 174899-82-2。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S1中,预处理过程为:

将基片在浓度为99%的丙酮中完全浸没,并以90w功率超声震荡清洗10min;在浓度为99%的酒精中完全浸没,并以90w功率超声震荡清洗10min;最后在去离子水中全浸没,并以90w功率超声震荡清洗10min,气枪吹干。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤S2中循环电压的步长为0.01v,步长间的时间间隔为2s。

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