[发明专利]一种使用离子液体调控金属薄膜磁性的方法有效
申请号: | 201911072269.X | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN110983268B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 张晓慧;周子尧;胡忠强;李春雷 | 申请(专利权)人: | 西安科汇电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/18;H01F41/16 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 姚咏华 |
地址: | 710075 陕西省西安市高*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 使用 离子 液体 调控 金属 薄膜 磁性 方法 | ||
1.一种使用离子液体调控金属薄膜磁性的方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1,薄膜的制备:将选定基底进行预处理后,在其上采用直流磁控溅射法在真空度为1.5x10-7Torr条件下,以30w至50w功率依次沉积4nm Ta、6nm Bi和2nm Ag,获得2 nm Ag /6nm Bi / 4 nm Ta /基底结构;
S2,测试调控体系电化学窗口:借助套筒将聚四氟乙烯测试杆装配上去,在测试杆前端形成电源线正极/离子液体/电源线负极/2 nm Ag / 6 nm Bi / 4 nm Ta / 基底的测试结构,将电源表接到正负极电源线上;
在氮气保护条件下,通过对浸润金属薄膜的咪唑类离子液体施加步长相同的循环电压,电压范围是-4V~+4V,确认未发生化学反应的电压范围为-2.1至+2.3v;
S3,调控金属薄膜磁性:在氮气保护条件下,在电化学窗口内施加1v,2v,0v电压;每次改变电压后保持5分钟;当电压稳定后在维持电压不变的条件下进行磁性测试确认调控效果;
在步骤S1中,基底为二氧化硅或云母;
咪唑类离子液体为EMI-TFSI,Cas号: 174899-82-2。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S1中,预处理过程为:
将基片在浓度为99%的丙酮中完全浸没,并以90w功率超声震荡清洗10min;在浓度为99%的酒精中完全浸没,并以90w功率超声震荡清洗10min;最后在去离子水中全浸没,并以90w功率超声震荡清洗10min,气枪吹干。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤S2中循环电压的步长为0.01v,步长间的时间间隔为2s。
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