[发明专利]气体混合输出系统及方法

权利要求书

1.一种气体混合输出系统，包括：

多个气体供应单元，用以供应多种气体，且所述多种气体系混合成一混合气体；

一气体稳压装置，连通于所述多个气体供应单元，用以调控所述混合气体在一预设压力范围；以及

一气体缓冲单元，连通于所述气体稳压装置，用以回授所述混合气体的一输出流量值及一输出压力值至所述多个气体供应单元，使所述多个气体供应单元依据所述输出流量值及所述输出压力值调节来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量；

其中，所述气体稳压装置包括一气体压力计及一压力控制器，所述气体压力计系用以监测所述混合气体的压力值，且所述压力控制器系用以控制所述混合气体的压力值；所述压力控制器系通信连接于所述气体压力计；当来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量产生变化，且所述气体压力计监测来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的压力值超出所述预设压力范围时，所述压力控制器从所述气体压力计接收一第一调控讯号，且所述压力控制器根据所述第一调控讯号开始动作，使所述混合气体的压力值回归所述预设压力范围。

2.如权利要求1所述的气体混合输出系统，其中，包括一气体混合装置，连通于所述多个气体供应单元，使所述多种气体在所述气体混合装置内混合成所述混合气体。

3.如权利要求2所述的气体混合输出系统，其中，所述气体稳压装置系设置于所述气体混合装置与所述气体缓冲单元之间，且连通于所述气体混合装置与所述气体缓冲单元。

4.如权利要求2所述的气体混合输出系统，其中，所述气体稳压装置系设置于所述多个气体供应单元与所述气体混合装置之间，且连通于所述多个气体供应单元与所述气体混合装置。

5.如权利要求1所述的气体混合输出系统，其中，当所述混合气体在所述多个气体供应单元的流量变大时，所述压力控制器的开度随之变大，使所述混合气体在所述多个气体供应单元的一次侧及二次侧的压力差值保持在一预定范围内；当所述混合气体在所述多个气体供应单元的流量变小时，所述压力控制器的开度随之变小，使所述混合气体在所述多个气体供应单元的一次侧及二次侧的压力差值保持在所述预定范围内。

6.如权利要求1所述的气体混合输出系统，其中，所述气体缓冲单元通信连接至所述多个气体供应单元，当所述气体缓冲单元输出的所述混合气体的所述输出压力值大于或小于一输出预设值时，所述气体缓冲单元传递一第二调控讯号至所述多个气体供应单元中的至少一个，使所述多个气体供应单元中的至少一个根据所述第二调控讯号调控所述多种气体中的至少一种的输出流量。

7.如权利要求1所述的气体混合输出系统，其中，当来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量产生变化，且所述气体压力计监测来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的压力值超出所述预设压力范围时，所述压力控制器与所述气体压力计循环回授且调节所述混合气体的压力值，直到所述混合气体的压力值回归且维持在所述预设压力范围。

8.一种气体混合输出方法，包括：

提供多种气体；

混合所述多种气体成一混合气体；

利用一气体稳压装置，调控所述混合气体在一预设压力范围；以及

利用一气体缓冲单元，回授所述混合气体的一输出流量值及一输出压力值至供应所述多种气体的多个气体供应单元，使所述多个气体供应单元依据所述输出流量值及所述输出压力值调节来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量，所述气体缓冲单元连通于所述气体稳压装置；

其中，所述气体稳压装置包括一气体压力计及一压力控制器，所述气体压力计系用以监测所述混合气体的压力值，且所述压力控制器系用以控制所述混合气体的压力值；所述压力控制器系通信连接于所述气体压力计；当来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的流量产生变化，且所述气体压力计监测来自所述多个气体供应单元的所述混合气体的压力值超出所述预设压力范围时，所述压力控制器从所述气体压力计接收一第一调控讯号，且所述压力控制器根据所述第一调控讯号开始动作，使所述混合气体的压力值回归所述预设压力范围。